4月28日,慶祝中華全國總工會成立100周年暨全國勞動模范和先進工作者表彰大會在人民大會堂隆重舉行,中共中央總書記、國家主席、中央軍委主席習(xí)近平出席大會并發(fā)表重要講話。華海清科股份有限公司創(chuàng)始人、首席科學(xué)家路新春作為集成電路高端裝備制造領(lǐng)域的杰出代表,被授予“全國勞動模范”榮譽稱號并參加了本次會議。這一殊榮不僅是對路新春個人貢獻的高度認可,更是對華海清科在推動國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備自主化進程中取得突破性成就的肯定。
路新春長期致力于納米摩擦學(xué)、納米制造理論與技術(shù)研究,將納米制造相關(guān)理論與技術(shù)應(yīng)用于集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化。作為華海清科的創(chuàng)始人,路新春積極響應(yīng)國家重大戰(zhàn)略需求,帶領(lǐng)團隊攻克了化學(xué)機械拋光(CMP)和晶圓減薄等關(guān)鍵技術(shù)的“卡脖子”難題,填補了國內(nèi)高端半導(dǎo)體裝備的多項空白。
二十余載,路新春始終扎根科研生產(chǎn)一線,帶領(lǐng)團隊取得了半導(dǎo)體裝備的重大技術(shù)成果與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用成果,公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、先進封裝、大硅片、第三代半導(dǎo)體、MEMS、Micro LED等制造工藝,推動我國半導(dǎo)體裝備從“跟跑”向“并跑”跨越,為我國芯片產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控提供了堅實保障。
“這份榮譽屬于整個團隊,更屬于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的奮斗者。”路新春表示,創(chuàng)新研發(fā)要與國家戰(zhàn)略同頻共振,今后將以勞模精神為動力,推動更多“從0到1”的原創(chuàng)性技術(shù)突破,助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球競爭中掌握主動權(quán)。
路新春的奮斗歷程是中國科技工作者“把論文寫在祖國大地上”的生動縮影。此項殊榮的獲得為華海清科注入了強勁的精神動力,公司將繼續(xù)秉承“自強成就卓越 創(chuàng)新塑造未來”的企業(yè)精神,在關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新等方面持續(xù)發(fā)力,為推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控、實現(xiàn)制造強國目標貢獻更大力量。