天眼查顯示，華海清科股份有限公司“位置標(biāo)定裝置”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2025年2月28日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119542200A。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種位置標(biāo)定裝置，該位置標(biāo)定裝置應(yīng)用于干燥設(shè)備，干燥設(shè)備還包括承載盤(pán)、噴桿和支撐臂，承載盤(pán)用于在干燥設(shè)備對(duì)晶圓進(jìn)行干燥時(shí)承載晶圓，噴桿用于向晶圓噴射流體，噴桿設(shè)置在支撐臂上，支撐臂用于調(diào)整噴桿的位置；位置標(biāo)定裝置包括標(biāo)定盤(pán)和噴嘴指向件；標(biāo)定盤(pán)用于裝配在噴桿與承載盤(pán)之間，且與承載盤(pán)平行，標(biāo)定盤(pán)靠近噴桿的側(cè)面設(shè)置有標(biāo)識(shí)區(qū)域；噴嘴指向件可拆卸連接在噴桿上，噴嘴指向件具有位于噴桿的噴射路徑上的尖端，通過(guò)調(diào)整支撐臂上噴桿的位置，使得噴桿帶動(dòng)噴嘴指向件的尖端對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)區(qū)域，對(duì)噴桿的噴嘴進(jìn)行位置標(biāo)定。本方案降低了對(duì)噴桿進(jìn)行位置標(biāo)定的難度。