天眼查顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司“一種閃耀光柵的制造方法”專利公布，申請公布日為2025年3月7日，申請公布號為CN119575529A。

本申請?zhí)峁┮环N閃耀光柵的制造方法，方法包括：提供襯底，襯底上覆蓋有周期排布的掩膜，利用入射角度和旋轉角度，以掩膜為掩蔽，利用離子束刻蝕襯底，形成閃耀光柵。入射角度為離子束在襯底的法線所在平面的第一投影和襯底的法線之間的角度，旋轉角度為離子束在襯底的表面所在平面的第二投影和襯底的表面的切線之間的角度，閃耀光柵的反閃耀角根據入射角度和旋轉角度確定。這樣通過利用入射角度和旋轉角度可以降低掩膜的遮蔽效應，從而達到控制反閃耀角的角度的目的，實現(xiàn)反閃耀角角度的可控，從而通過控制入射角度和旋轉角度增大反閃耀角的角度，最終提高閃耀光柵的衍射效率。