3月26日至28日，上海國際半導體展覽會SEMICON CHINA 2025在上海新國際博覽中心隆重舉行。作為國內(nèi)領(lǐng)先的晶圓傳輸設(shè)備供應商，泓滸（蘇州）半導體科技有限公司（以下簡稱“泓滸半導體”）攜多款晶圓傳輸機器人及AMHS設(shè)備亮相展會，展現(xiàn)了其在國產(chǎn)半導體裝備核心零部件技術(shù)的突破性進展。

為期三天的展會上，泓滸半導體展臺熱度持續(xù)火爆，吸引了眾多客戶，業(yè)界專家、合作伙伴、投資人和行業(yè)媒體的駐足與關(guān)注。工作人員向大家熱情介紹公司情況和產(chǎn)品，分享前沿技術(shù)、交流寶貴的行業(yè)經(jīng)驗，熱烈探討行業(yè)發(fā)展趨勢。

在本次展會上，泓滸半導體重點展示了多款晶圓傳輸機器人及AMHS設(shè)備：

其中，真空潔凈機器人-五軸單臂四Blade，可對應非發(fā)散型腔體同時高速變距搬運4片晶圓，適用于當前最先進的8~12腔大型真空工藝設(shè)備。

真空潔凈機器人-四軸雙臂四Blade，可同時高速搬運4片晶圓，現(xiàn)已廣泛應用于主流真空工藝解決方案。

真空潔凈機器人-三軸單臂雙Blade，旋轉(zhuǎn)半徑小，大量應用于緊湊尺寸設(shè)計的高真空工藝解決方案。

大氣潔凈機器人-四軸雙臂雙翻轉(zhuǎn)Blade，可對應晶圓翻轉(zhuǎn)及360°全方位搬運，特殊的拐點傳輸方式可應對更復雜的場景需求。

與此同時，泓滸立足半導體晶圓傳輸機器人和傳送設(shè)備，不斷打磨機器人硬件及控制技術(shù)，與OHT、AMR等AMHS設(shè)備完美配套，共建半導體晶圓傳輸自動化產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。

晶圓傳輸系統(tǒng)

泓滸半導體成立于2016年，始終扎根于半導體傳送設(shè)備與關(guān)鍵零部件領(lǐng)域，主營業(yè)務涵蓋晶圓傳輸設(shè)備及部件、維修翻新、耗材及配件貿(mào)易。在競爭激烈的市場環(huán)境中，公司憑借持續(xù)創(chuàng)新的精神和強大的研發(fā)實力，不斷取得突破性成果。2019年，公司率先實現(xiàn)Sorter（自動倒片機）和EFEM的量產(chǎn)；2022年突破SMIF（標準機械接口）和VTM技術(shù)壁壘；2023年，其自主研發(fā)的真空機械手臂完成量產(chǎn)工藝驗證；2024年，核心部件量產(chǎn)交付。

目前，泓滸半導體已擁有超200項自主知識產(chǎn)權(quán)，其中發(fā)明專利（已授權(quán)）達90項，發(fā)明專利（正在受理和實審）超100項，軟件著作權(quán)（已授權(quán)）達30項，實用新型/外觀專利（已授權(quán)）達60項。其產(chǎn)品已服務超 100 家客戶，涵蓋硅片制造、集成電路制造、半導體封測、半導體設(shè)備等多個領(lǐng)域，包括中欣晶圓、華潤微電子等知名企業(yè)。

近年來，國內(nèi)廠商對半導體供應鏈安全重視程度不斷提高，部分 Fab 廠開始關(guān)注設(shè)備廠商核心部件的國產(chǎn)化比例，同時國內(nèi)晶圓廠的擴產(chǎn)也為國產(chǎn)設(shè)備零部件廠商帶來了廣闊市場空間。面對挑戰(zhàn)與機遇，泓滸半導體堅持將自主研發(fā)與創(chuàng)新作為企業(yè)發(fā)展的核心驅(qū)動力，高度重視技術(shù)攻關(guān)和人才培養(yǎng)。

泓滸半導體作為國家專精特新 “小巨人” 企業(yè)和蘇州市 “獨角獸” 培育企業(yè)，在半導體晶圓傳輸設(shè)備領(lǐng)域深耕不輟，以創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展，為半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入強勁動力。未來，泓滸半導體將繼續(xù)秉持初心，在晶圓傳輸設(shè)備和零部件領(lǐng)域不斷探索創(chuàng)新，謀求新突破，為推動半導體設(shè)備國產(chǎn)化進程貢獻更多力量。