據(jù)天眼查顯示,上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司“提升芯片良率和可靠性的方法”專利公布,申請公布日為2024年12月31日,申請公布號為CN119229936A。
本發(fā)明提供一種提升芯片良率和可靠性的方法,提供至少一個lot的晶圓,晶圓包括多個芯片,各個芯片上包含有多個包括閃存的存儲單元;進(jìn)行晶圓接受測試,記錄每片晶圓的存儲單元為編程狀態(tài)時的閾值電壓;把lot的編號、晶圓的編號以及對應(yīng)的晶圓的存儲單元為編程狀態(tài)時的閾值電壓生成附加文件;進(jìn)行良率測試和編程電壓調(diào)整:將附加文件代入第一良率測試,在一良率測試中繼承晶圓的存儲單元為編程狀態(tài)時的閾值電壓作為參數(shù)進(jìn)入之后的編程電壓調(diào)整流程;進(jìn)行編程電壓調(diào)整流程;進(jìn)行第二良率測試,在第二良率測試中根據(jù)測試結(jié)果調(diào)整閾值電壓的調(diào)整公式。本發(fā)明能夠根據(jù)工藝差異微調(diào)編程條件,以獲得最適合的工作條件,提升良率和可靠性。