天眼查顯示，杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司“改善硅片邊緣金屬的方法”專利公布，申請(qǐng)公布日為2025年3月14日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119608644A。

本發(fā)明涉及一種改善硅片邊緣金屬的方法，所屬硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，包括如下操作步驟：第一步：對(duì)二手片盒進(jìn)行純水噴淋5min，純水流量為25Lpm。第二步：在純水浸泡槽內(nèi)鹽酸，二手片盒浸泡時(shí)間為30min。第三步：對(duì)二手片盒進(jìn)行純水噴淋10min，純水流量為40Lpm。第四步：二手片盒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)甩干，旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速為300Rpm，甩干時(shí)間為10min。第五步：二手片盒放入至密閉烘箱烘干，干燥溫度為62～65℃，烘干時(shí)間為30min。第六步：在清洗烘干后的二手片盒內(nèi)，放入干凈硅片，檢測(cè)硅片邊緣金屬水平。解決了片盒清洗機(jī)無(wú)法對(duì)二手片盒進(jìn)行洗凈的問(wèn)題。通過(guò)在片盒洗凈機(jī)清洗槽內(nèi)加入稀釋濃度0.4%的鹽酸后，有效降低了Al、Fe元素金屬污染，提升了二手片盒金屬水平，從而改善了硅片邊緣金屬水平。