天眼查顯示，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司近日取得一項(xiàng)名為“電子束掃描成像中的干擾信號(hào)補(bǔ)償方法、裝置及電子設(shè)備”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN117011405B，授權(quán)公告日為2025年3月14日，申請(qǐng)日為2023年6月28日。

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N電子束掃描成像中的干擾信號(hào)補(bǔ)償方法、裝置及電子設(shè)備，包括：獲取基準(zhǔn)方向上的掃描圖像；根據(jù)所述掃描圖像，確定所述掃描圖像中的干擾信號(hào)的基準(zhǔn)信號(hào)模型；基于所述干擾信號(hào)的基準(zhǔn)信號(hào)模型，確定目標(biāo)補(bǔ)償模型；基于所述目標(biāo)補(bǔ)償模型，對(duì)掃描方向上的干擾信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償。本申請(qǐng)的一種電子束掃描成像中的干擾信號(hào)補(bǔ)償方法、裝置及電子設(shè)備解決了電子束掃描成像過程中由于振動(dòng)或噪聲等信號(hào)干擾導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降的問題，提升了圖像分辨率，降低了圖像定位偏差。