2025年4月18日，北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司電子束設(shè)備出機(jī)60臺慶?；顒郁呒o(jì)念機(jī)臺揭幕儀式成功舉辦。從科技感十足的入場體驗(yàn)到領(lǐng)導(dǎo)、嘉賓的逐一分享，這場以 “乾元破界?六十啟巽” 為題的慶典，不僅是企業(yè)十一年技術(shù)積淀的階段性總結(jié)，更以 “60” 這個(gè)數(shù)字，為中國半導(dǎo)體量檢測設(shè)備從 “替代驗(yàn)證” 走向 “規(guī)模信賴” 標(biāo)注了關(guān)鍵坐標(biāo)。

科技元素串聯(lián)記憶 深圳上海多地聯(lián)動

此次活動上海、深圳子公司全程參與主題布置及聯(lián)動，通過連線同步呈現(xiàn)北京機(jī)臺揭幕實(shí)況，共享榮耀時(shí)刻。同時(shí)，北京現(xiàn)場整個(gè)簽到流程別出心裁、極具智感，點(diǎn)亮序幕：首先由VR簽到鏡完成數(shù)字化簽到，后由禮儀引導(dǎo)至AR合影區(qū)，通過虛擬技術(shù)與東方晶源核心設(shè)備模型 “同框”，生成的紀(jì)念相框嵌入企業(yè)LOGO與主題標(biāo)識，掃描即刻完成靜態(tài)照片的同步動態(tài)合成，成為技術(shù)突破與歷程攻堅(jiān)的可視化注腳。而現(xiàn)場LED屏同步播放的紀(jì)實(shí)影像以及活動區(qū)域內(nèi)造型新穎的系列主題背景墻，設(shè)計(jì)美學(xué)與技術(shù)溫度交織，也吸引大家紛紛駐足合影、打卡留念。

60臺設(shè)備：東方晶源實(shí)力鋪就自主化進(jìn)階路

“在當(dāng)今嚴(yán)峻的國際局勢下，60臺設(shè)備不僅僅是一個(gè)數(shù)字，更是東方晶源十一年磨劍，以技術(shù)報(bào)國的激情實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵零部件100%國產(chǎn)化的攻關(guān)之路。這些努力不但實(shí)現(xiàn)了我國在納米級電子束量檢測裝備的完全自主可控，而且奠定了與國際主流供應(yīng)商PK的基礎(chǔ)。”東方晶源董事長俞宗強(qiáng)博士在致辭中強(qiáng)調(diào)?；仡櫼宦饭?jiān)歷程，他繼續(xù)說到：“在集成電路制造領(lǐng)域，電子束量檢測裝備是不可或缺的關(guān)鍵裝備，其研發(fā)難度僅次于光刻機(jī)。東方晶源作為國內(nèi)首家全面啟動該項(xiàng)技術(shù)攻關(guān)的企業(yè)，從最初所面臨的來自材料、加工，組裝調(diào)試到電控軟件等供應(yīng)鏈不足以及人才嚴(yán)重缺失等各方面難題，到2019年9月27日首臺電子束設(shè)備EBI作為祖國70華誕獻(xiàn)禮出機(jī)大產(chǎn)線驗(yàn)證，我們切身體會到‘從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線’最后一公里的漫長。面對電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，高精度運(yùn)動控制、缺陷和量測算法，顆粒污染，穩(wěn)定性，以及軟件算法等一個(gè)個(gè)疑難雜癥，東方晶源的工程師們以‘干中學(xué)、學(xué)中干’的韌勁，用2000多個(gè)日夜的堅(jiān)守，將CD-SEM量測速度(WPH)從只有國際主流供應(yīng)商的1/4，達(dá)到今天性能具有全面的可比性；EBI裝備也從最初只能檢測電性缺陷到今天能夠檢測到小于20nm的物理缺陷，并可覆蓋具有深孔結(jié)構(gòu)的存儲芯片檢測；DR-SEM則是從無到有，實(shí)現(xiàn)了今天具備5通道探測器，能夠全面多維度表征缺陷。與此同時(shí)，東方晶源再攀高峰，啟動了更高性能的新型HV-SEM的研發(fā)攻關(guān)——這條自主創(chuàng)新之路，已在無數(shù)試錯(cuò)與突破的交織中成功鋪就……”

在發(fā)言最后，他提醒所有同仁必須保持清醒的頭腦。實(shí)現(xiàn)電子束裝備的國產(chǎn)化替代不是終點(diǎn)，而是持續(xù)創(chuàng)新走向更高目標(biāo)的起點(diǎn)。集成電路作為全球高科技競爭的戰(zhàn)略高地，技術(shù)革新瞬息萬變，市場角逐愈發(fā)白熱化。大家要以出機(jī)60臺作為新的起跑線，朝著更高遠(yuǎn)的目標(biāo)勇毅奮進(jìn)。進(jìn)一步完善HPO良率提升的微生態(tài)，積極擁抱創(chuàng)新、擁抱AI，為客戶提供具有國際競爭力的良率解決方案，成為下一代集成電路領(lǐng)域良率解決方案的領(lǐng)航者。

“六十啟巽”：解碼設(shè)備規(guī)模交付的行業(yè)價(jià)值

“60臺設(shè)備的出機(jī)交付，意味著國產(chǎn)電子束量檢測裝備形成規(guī)模替代?！睈奂⒏笨偛?、咨詢業(yè)務(wù)總經(jīng)理韓曉敏表示：“這一突破的背后，是東方晶源近兩百項(xiàng)專利的厚積薄發(fā)——從2014年首臺CD-SEM原理樣機(jī)下線，到2023年EBI缺陷檢測設(shè)備通過3D NAND晶圓廠驗(yàn)證，再到今日12英寸設(shè)備已在28nm產(chǎn)線上服役，6英寸和8英寸設(shè)備在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域作為BSL機(jī)臺運(yùn)行，包括下一代機(jī)型預(yù)期具備14nm量檢測能力，可以說，東方晶源用十一年時(shí)間完成了‘技術(shù)排頭兵‘的突圍重任?！?/p>

從 “六十” 再出發(fā)：紀(jì)念機(jī)臺鐫刻產(chǎn)業(yè)破界新坐標(biāo)

活動高潮，東方晶源董事長俞宗強(qiáng)，東方晶源總裁蔣俊海與揭幕嘉賓共同為 “乾元破界?六十啟巽” 出機(jī)60臺紀(jì)念機(jī)臺揭幕。深藍(lán)色基座上，透明雕刻圖板以 “乾元” 所象征的天道剛健為魂，將電子束光路抽象為“破界之軌”，連接CD-SEM關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備、EBI電子束缺陷檢測設(shè)備，DR-SEM電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備等核心產(chǎn)品實(shí)體剪影。當(dāng)紅綢滑落，當(dāng)機(jī)臺上的電子束投像光路與產(chǎn)線設(shè)備剪影交織，便構(gòu)成了“乾元破界”的終極圖景——不是單槍匹馬的突圍，而是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈“巽風(fēng)共振”的新生態(tài)。

現(xiàn)場，主持人深深致敬了前行路上的所有同行者：感謝國家02專項(xiàng)專家組十年來的戰(zhàn)略護(hù)航以及國家部委的長期指導(dǎo)；感恩頭部客戶從“首臺試用”到“批量復(fù)購”的認(rèn)可與信任；致敬每一位晶源人，是他們以團(tuán)結(jié)如炬的信念與追求卓越的執(zhí)著，贏得了“中國精度”的口碑。

儀式最后，全體嘉賓、同仁在紀(jì)念機(jī)臺前合影。這場以數(shù)字為名的儀式，最終落向一個(gè)樸素的行業(yè)真理：60臺設(shè)備的價(jià)值，不在于數(shù)字本身，而在于其背后形成的技術(shù)自信、產(chǎn)業(yè)信任與生態(tài)自覺。當(dāng)東方晶源帶著 “60” 的積淀再度出發(fā)，中國半導(dǎo)體設(shè)備的下一個(gè)突破，或許已在 “生態(tài)深耕” 的土壤中悄然孕育。