7月28日，沈陽市科學(xué)技術(shù)局發(fā)布2022年關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)“揭榜掛帥”項(xiàng)目榜單，此次共遴選43項(xiàng)“揭榜掛帥”項(xiàng)目榜單對(duì)外張榜發(fā)布，涵蓋航空航天、集成電路、人工智能及機(jī)器人、新材料、新能源汽車等多領(lǐng)域。

其中，在集成電路領(lǐng)域，包括3個(gè)項(xiàng)目，分別為新型智能可穿戴柔性電子微納集成系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)、晶圓表面在線工藝缺陷檢測(cè)軟件關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)、真空干泵用高效屏蔽電機(jī)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)。

以下是項(xiàng)目具體要求：

新型智能可穿戴柔性電子微納集成系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)

針對(duì)目前新型智能可穿戴監(jiān)測(cè)設(shè)備所用的核心微電子集成系統(tǒng)難以實(shí)現(xiàn)柔性彎折、延展，造成其難以實(shí)現(xiàn)隨體、隨形、輕薄無感化貼敷穿戴的問題，圍繞可穿戴設(shè)備需求，開展基于聚合物襯底的柔性集成電路芯片設(shè)計(jì)、多維仿真和制備技術(shù)的研發(fā)以及基于硅基襯底的柔性集成電路芯片可靠性檢測(cè)技術(shù)研究，突破柔性芯片設(shè)計(jì)和制備關(guān)鍵核心技術(shù)，研制新型智能可穿戴監(jiān)測(cè)設(shè)備所需的柔性電子微納集成系統(tǒng)，并開展試驗(yàn)驗(yàn)證，形成產(chǎn)品。

晶圓表面在線工藝缺陷檢測(cè)軟件關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)

針對(duì)涂膠顯影機(jī)工藝缺陷導(dǎo)致的良率下降問題，開發(fā)晶圓表面在線工藝缺陷檢測(cè)軟件，能有效識(shí)別微塵、工序殘留物、研磨缺陷、晶體缺陷、劃痕缺陷等晶圓表面常見工藝缺陷，同時(shí)具備表面 EBR、Notch 位置檢測(cè)、Golden Wafer 制作功能；整體系統(tǒng)具有友好交互性、靈活擴(kuò)展性，具備配方生成、管理、結(jié)果查看分析、系統(tǒng)維護(hù)、報(bào)警管理、SEMI 協(xié)議通訊等功能，可實(shí)現(xiàn)集成電路生產(chǎn)工序中快速精準(zhǔn)的缺陷檢測(cè)、分析和存儲(chǔ)，從而提升產(chǎn)品良率。

真空干泵用高效屏蔽電機(jī)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)

（1）真空環(huán)境下電機(jī)定子環(huán)氧樹脂灌封技術(shù)開發(fā)：傳統(tǒng)屏蔽套電機(jī)在運(yùn)行過程中易產(chǎn)生渦流損耗，為進(jìn)一步提升電機(jī)效率，國際上率先使用環(huán)氧灌封技術(shù)予以替代，但工藝技術(shù)的實(shí)施難度較大。

（2）屏蔽高效電機(jī)的電磁設(shè)計(jì)：需要優(yōu)化設(shè)計(jì)，降低能耗，且性能指標(biāo)滿足真空干泵需求。

（3）電機(jī)真空密封阻燃結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：集成電路工藝環(huán)境對(duì)電機(jī)安全提出了較高要求，電機(jī)整機(jī)及引線等附屬結(jié)構(gòu)需符合 SEMI標(biāo)準(zhǔn)、真空密封和阻燃等要求。

（校對(duì)/魏?。?/p>