在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，溫控設(shè)備是確保工藝精度和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。近年來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速向中國市場轉(zhuǎn)移，國內(nèi)涌現(xiàn)出了一批專注于溫控設(shè)備的供應(yīng)商。其中，安徽中科新源半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡稱“中科新源”）憑借其在熱電型半導(dǎo)體溫控系統(tǒng)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品迭代，逐漸成為行業(yè)的佼佼者。在SEMICON CHINA 2025的展會現(xiàn)場，集微網(wǎng)有幸采訪到中科新源CEO熊繹，并一起就公司產(chǎn)品優(yōu)勢、全球市場布局等話題進(jìn)行了深入交流。

高精度溫控：半導(dǎo)體制造的“隱形英雄”

相比傳統(tǒng)的壓縮型和熱交換器型溫控設(shè)備，熱電型半導(dǎo)體溫控設(shè)備憑借更高的精度和靈活性，更能滿足半導(dǎo)體制造過程中的高精度控制需求。據(jù)行業(yè)專家預(yù)測，熱電型溫控設(shè)備有望在未來幾年成為增長最快的半導(dǎo)體溫控設(shè)備類型。

中科新源成立于2017年11月，專注于半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域的熱電溫控系統(tǒng)產(chǎn)品的研制。公司成立次年就推出了Z-3000/Z-6000和ZMO-500系列直冷機(jī)。截至目前，中科新源已形成覆蓋半導(dǎo)體、5G通信、車載三大領(lǐng)域的熱電溫控產(chǎn)品矩陣，受到眾多國內(nèi)外客戶的青睞和復(fù)購。

中科新源的產(chǎn)品具有高集成、高性能、低成本、低功耗、易安裝等特色。以Z-6000半導(dǎo)體直冷機(jī)為例，該設(shè)備采用高集成度設(shè)計(jì)，擁有更便捷的故障排除和整機(jī)更換技術(shù)，主要適用于半導(dǎo)體晶圓廠的刻蝕（Etch）、化學(xué)氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）工藝制程。

“Z-6000不僅響應(yīng)快、綠色環(huán)保（無氟利昂、無噪音），還具備高精準(zhǔn)度（控溫精度±0.1℃）和高可靠性（MTBF＞5）等特性?！敝锌菩略磩?chuàng)始人兼CEO熊繹在接受采訪時表示，“此外，Z-6000還是市面上體積最小的制冷機(jī)，功耗優(yōu)勢顯著，較傳統(tǒng)壓縮機(jī)溫控系統(tǒng)平均節(jié)能約80%?！?/p>

據(jù)熊繹介紹，采用Z-6000半導(dǎo)體直冷機(jī)替代傳統(tǒng)方案，可為客戶平均每年節(jié)省電費(fèi)約3.5萬元人民幣，2至2.5年節(jié)省的費(fèi)用足以購買一臺全新的直冷機(jī)。

再以一體式通信機(jī)柜直冷機(jī)ST-1500為例，該設(shè)備主要面向數(shù)控機(jī)床、通訊設(shè)備等場景，具有高集成、高可靠、高效節(jié)能、精準(zhǔn)溫控、易安裝等特點(diǎn)。根據(jù)上海鐵塔轄屬某基站實(shí)測數(shù)據(jù)，在春、秋季，針對普通中小型機(jī)柜，該產(chǎn)品在確保機(jī)柜內(nèi)設(shè)備正常運(yùn)行的前提下，月耗電量約為50kWh/臺，即全年總耗電量約為1300kWh/臺。比普通常規(guī)空調(diào)相比，每年可節(jié)省用電成本46%，相當(dāng)于減少碳排放1噸/臺，有效提升能源利用效率。

事實(shí)上，如上特性在中科新源旗下產(chǎn)品中廣泛存在，且能針對不同的場景，為客戶帶來可觀的降本增效效應(yīng)。

創(chuàng)新驅(qū)動：持續(xù)的技術(shù)突破

隨著以AI為代表的科技產(chǎn)品需求帶動本土半導(dǎo)體國產(chǎn)化率提升，中科新源亦呈現(xiàn)陸續(xù)加大資本支出之勢，促進(jìn)產(chǎn)品和工藝的創(chuàng)新。僅2024年，公司就提交了10項(xiàng)發(fā)明專利申請，該年度獲授權(quán)3項(xiàng)發(fā)明、2項(xiàng)實(shí)用新型專利，累計(jì)獲授權(quán)專利達(dá)56項(xiàng)。

“公司專注于提升產(chǎn)品技術(shù)含量與差異化，保持在核心技術(shù)上的領(lǐng)先優(yōu)勢?！毙芾[表示，其多項(xiàng)創(chuàng)新成果近期陸續(xù)取得突破性進(jìn)展。例如，CP Test低溫段直冷機(jī)K-245和5G通信空調(diào)均于2024年Q1開啟項(xiàng)目導(dǎo)入，至2024年Q3即實(shí)現(xiàn)Beta版本量產(chǎn)交付；高功率光模塊測試系統(tǒng)C-800和多模智能信號控制器D-1000均于2024年Q2開啟項(xiàng)目導(dǎo)入，至2024年Q4即實(shí)現(xiàn)Beta版本量產(chǎn)交付。

得益于高性能、低功耗等特性，中科新源部分創(chuàng)新成果將于2025年進(jìn)入爆發(fā)式收獲期。根據(jù)廠家披露數(shù)據(jù)，對標(biāo)德國Huber低溫段壓縮機(jī)的超低溫直冷機(jī)，預(yù)計(jì)2025年交付量是2024年的5-10倍；TEC溫控系統(tǒng)等產(chǎn)品也將實(shí)現(xiàn)大批量交付。

全球布局：做精密溫控領(lǐng)航員

中科新源近年來業(yè)績持續(xù)快速增長，這既得益于中國本土企業(yè)的支持，也離不開國際企業(yè)的助力。其大功率半導(dǎo)體制冷設(shè)備不僅得到士蘭微、英諾賽科、華虹宏力、華潤微電子、斯達(dá)半導(dǎo)、偉測科技等本土企業(yè)的采用，也廣受臺積電、SSMC、英飛凌、意法半導(dǎo)體、SilTerra、PSK等國際公司的青睞。

自2021年開始進(jìn)軍國際市場以來，截至2024年末，中科新源產(chǎn)品已銷售至美國、新加坡、意大利、馬來西亞等多個國家和地區(qū)，產(chǎn)品獲海內(nèi)外客戶一致好評，并被中國半導(dǎo)體投資聯(lián)盟授予“國際市場先鋒獎”。

為構(gòu)筑其全球化布局，中科新源在中國合肥總部中心的基礎(chǔ)上，2023年在美國華盛頓卡默斯設(shè)立集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、技術(shù)支持于一體的研發(fā)和制造中心，2024年又在新加坡設(shè)立技術(shù)服務(wù)中心，以更好服務(wù)全球客戶。

根據(jù)計(jì)劃，中科新源將于2025年深化全球戰(zhàn)略布局，并重點(diǎn)開拓東南亞和美國市場。據(jù)熊繹介紹，極低的碳排放成效及顯著的COO（Cost of Ownership）優(yōu)勢是中科新源產(chǎn)品廣受國際大客戶青睞的重要原因。例如，Z-3000/6000在節(jié)能減碳指標(biāo)上達(dá)成ROI<1.5年，受到SSMC大批量復(fù)購；Z-6000經(jīng)STMicro驗(yàn)證后，被大量應(yīng)用于新加坡、意大利、中國等地工廠；Z-3000/6000也在GlobalFoundries驗(yàn)證后，進(jìn)入該公司位于新加坡、德累斯頓、美國等地的工廠，預(yù)計(jì)相關(guān)產(chǎn)品今年交付量同比大幅增長。

未來展望：綠色創(chuàng)新與全球擴(kuò)張

與此同時，中科新源還將在技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)能提升、人才引進(jìn)等三個方面加碼全球化布局。公司將積極推進(jìn)AI智能溫控系統(tǒng)研發(fā)，繼續(xù)引領(lǐng)行業(yè)技術(shù)變革；加速智能化生產(chǎn)線建設(shè)工作，從質(zhì)量和效率兩個維度提升公司產(chǎn)品競爭力；同時吸納海內(nèi)外高端研發(fā)人才，為公司的研發(fā)創(chuàng)新及產(chǎn)品品質(zhì)保駕護(hù)航。

在新的一年里，中科新源一方面將繼續(xù)進(jìn)行綠色產(chǎn)品創(chuàng)新，加大研發(fā)力度，開發(fā)新一代更加節(jié)能的產(chǎn)品與技術(shù)方案，力爭在節(jié)能設(shè)備及低功耗應(yīng)用領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新的突破；另一方面將積極進(jìn)行供應(yīng)鏈綠色轉(zhuǎn)型，在全球供應(yīng)鏈布局中，全面推進(jìn)綠色技術(shù)與環(huán)保措施，確保供應(yīng)鏈的每一個環(huán)節(jié)都超越可持續(xù)發(fā)展的要求標(biāo)準(zhǔn)，同時助力上下游企業(yè)共同實(shí)現(xiàn)綠色轉(zhuǎn)型目標(biāo)。

在剛剛落幕的SEMICON China 2025展會上，中科新源向外界展示了大功率半導(dǎo)體直冷機(jī)Z-3000及Z-6000、半導(dǎo)體恒溫槽ZMO-600、光模塊熱電溫控系統(tǒng)C-800、超低溫直冷機(jī)S-265以及一體式通信機(jī)柜直冷機(jī)ST-1500等全系列自研熱電溫控創(chuàng)新解決方案及尖端技術(shù)成果。

展望未來，熊繹表示：“公司將持續(xù)擴(kuò)大產(chǎn)品的全球化市場占有率，力爭成為全球精密溫控系統(tǒng)引領(lǐng)者?！?/p>