3月26日,青禾晶元在2025 SEMICON China同期舉辦了“領(lǐng)航鍵合未來,智創(chuàng)產(chǎn)業(yè)新局”線下技術(shù)革新分享會,吸引了半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛關(guān)注。分享會上,青禾晶元全面展示了其在高端鍵合裝備領(lǐng)域的最新突破。
分享會現(xiàn)場
自主創(chuàng)新,打破海外壟斷
半導(dǎo)體鍵合技術(shù),作為芯片制造的核心環(huán)節(jié),其精度和效率直接決定芯片性能。然而,長期以來,高端鍵合設(shè)備市場被海外企業(yè)壟斷,中國半導(dǎo)體企業(yè)面臨技術(shù)封鎖、成本高昂和交付周期長等挑戰(zhàn)。
青禾晶元創(chuàng)始人兼董事長母鳳文博士在分享會上表示:“面對海外壟斷,青禾晶元堅定選擇自主創(chuàng)新,以核心技術(shù)突破行業(yè)壁壘,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供高效、可靠的鍵合解決方案?!?/p>
五年磨一劍,交出亮眼成績單
五年來,青禾晶元攻克了室溫鍵合、3D異構(gòu)集成等“卡脖子”技術(shù),打造了四大核心裝備,覆蓋先進(jìn)封裝、晶圓級集成等前沿領(lǐng)域。2024年全年訂單超30臺,金額突破3億元,成績斐然。
公司掌握的五項自主可控核心技術(shù),是其在半導(dǎo)體異質(zhì)集成領(lǐng)域保持領(lǐng)先的關(guān)鍵:
表面活化鍵合:掌握了ICP\CCP\FAB等全套表面活化技術(shù),可覆蓋全系列鍵合設(shè)備場景;
亞微米精準(zhǔn)對準(zhǔn)技術(shù):掌握Face to Face、片間同軸、紅外穿透等主流的亞微米對準(zhǔn)技術(shù);
超高真空技術(shù):在超高真空環(huán)境中完成活化、對準(zhǔn)等工藝,突破真空帶來的挑戰(zhàn);
控溫控壓鍵合技術(shù):保證高溫、高壓均勻性;
單片旋涂/清洗技術(shù):高速旋轉(zhuǎn)動平衡、防止返濺污染,保證高鍵合良率。
依托這些技術(shù),青禾晶元構(gòu)建了“高端裝備研發(fā)制造+精密鍵合工藝代工”雙輪驅(qū)動的業(yè)務(wù)模式,為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供全方位解決方案。
鍵合裝備產(chǎn)品矩陣,推動技術(shù)發(fā)展
現(xiàn)場分享了青禾晶元自主研發(fā)的一系列技術(shù)領(lǐng)先的晶圓及芯片鍵合設(shè)備,包括超高真空常溫鍵合、親水/混合鍵合、熱壓/陽極鍵合、臨時鍵合&解鍵合等設(shè)備。這些設(shè)備憑借卓越的對準(zhǔn)精度和廣泛的材料兼容性,引發(fā)行業(yè)客戶熱烈關(guān)注與深度洽談。
此外,青禾晶元在天津和山西建立了現(xiàn)代化鍵合代工量產(chǎn)線,可穩(wěn)定量產(chǎn)多種關(guān)鍵鍵合襯底,并持續(xù)優(yōu)化工藝,提升良率。
展望未來,定義鍵合技術(shù)新邊界
母鳳文表示:“國產(chǎn)替代只是第一步,我們的愿景是成為全球半導(dǎo)體異質(zhì)集成領(lǐng)域的引領(lǐng)者。未來,青禾晶元不僅要讓中國技術(shù)站上世界舞臺,更要以創(chuàng)新重新定義鍵合技術(shù)的邊界,為全球客戶提供超越期待的價值。”
青禾晶元的技術(shù)突破,預(yù)示著半導(dǎo)體鍵合技術(shù)領(lǐng)域即將迎來一個由中國技術(shù)驅(qū)動的新時代。通過技術(shù)創(chuàng)新、生態(tài)共建和長期投入,青禾晶元正逐步實現(xiàn)其宏偉愿景,推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高水平。
從攻克核心工藝到構(gòu)建完善的產(chǎn)品矩陣,從技術(shù)創(chuàng)新到生態(tài)共建,青禾晶元在半導(dǎo)體鍵合領(lǐng)域展現(xiàn)了深厚的積累和中國企業(yè)突破技術(shù)封鎖的硬核實力。在2025 SEMICON China展會上,青禾晶元也以首次參展的身份,向世界展示了中國半導(dǎo)體鍵合技術(shù)的嶄新面貌,預(yù)示著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局的深刻變革。
關(guān)于青禾晶元
青禾晶元半導(dǎo)體科技(集團(tuán))有限責(zé)任公司是中國半導(dǎo)體鍵合集成技術(shù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司核心業(yè)務(wù)涵蓋高端鍵合裝備研發(fā)制造與精密鍵合工藝代工,技術(shù)廣泛應(yīng)用于先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體器件制造、晶圓級異質(zhì)材料集成及MEMS傳感器等前沿領(lǐng)域,通過“裝備制造+工藝服務(wù)”雙輪驅(qū)動,構(gòu)建全產(chǎn)業(yè)鏈解決方案,已成功開發(fā)四大自主知識產(chǎn)權(quán)產(chǎn)品矩陣:超高真空常溫鍵合系統(tǒng)、混合鍵合設(shè)備、熱壓鍵合裝備及配套工藝服務(wù)。通過持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新,公司致力于為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高精度、工藝穩(wěn)定、高性價比的鍵合裝備與方案,助力戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)崛起。