2025 SEMICON如約而至！ASML將攜“最長(zhǎng)壽”的光刻平臺(tái)，與“光之源頭”繼續(xù)亮相。

時(shí)間：2025年3月26日–3月28日

地點(diǎn)：上海市新國際博覽中心

N5館·N5026與N5022展臺(tái)

Highlight 01「 邂逅ASML最長(zhǎng)壽光刻系統(tǒng) 」

PAS 5500脫胎于飛利浦研究人員在20世紀(jì)70年代研制的一個(gè)系統(tǒng)，它的全稱是飛利浦自動(dòng)步進(jìn)式光刻機(jī)（Philips Automatic Stepper, PAS）。自1991年首臺(tái)PAS 5500問世以來，伴隨半導(dǎo)體制造工藝共同經(jīng)歷三十多年的發(fā)展，每臺(tái)PAS系統(tǒng)都有一段獨(dú)特的故事。

其中，擁有29年歷史的PAS 5500/275系統(tǒng)，在內(nèi)存和射頻（RF）模塊的生產(chǎn)線上奉獻(xiàn)多年后，在翻新、轉(zhuǎn)售，在虛擬現(xiàn)實(shí)的聚焦熱潮中重?zé)ㄐ律?/p>

雖然，TWINSCAN成為目前大規(guī)模半導(dǎo)體制造的首選平臺(tái)，將摩爾定律推向新的高度。但是PAS 5500/275和其它許多PAS 5500系統(tǒng)的故事印證了這一平臺(tái)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的重要性。低成本、小尺寸、簡(jiǎn)單易用的特點(diǎn)使翻新后的PAS 5500成為各種小眾細(xì)分應(yīng)用的首選方案。作為ASML歷史最悠久的產(chǎn)品，PAS 5500仍活躍在芯片制造的舞臺(tái)。

無論是經(jīng)過翻新組件還是回收核心，PAS 5500系統(tǒng)中有90%以上仍在被使用。在確保買家和賣家的利益之外，最大限度地減少了對(duì)新材料的需求以及廢物量，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)的“綠色經(jīng)濟(jì)”。

3月26日-3月28日，想要進(jìn)一步了解這臺(tái)最長(zhǎng)壽光刻系統(tǒng)的故事？

“芯”動(dòng)就要行動(dòng)，N5館·N5026展臺(tái)，我們不見不散！

Highlight 02「 探索DUV光刻系統(tǒng)光源奧秘 」

Cymer成立于1986年，作為半導(dǎo)體行業(yè)激光與光刻光源技術(shù)的領(lǐng)先者在2013年被ASML收購，進(jìn)一步提升了ASML光刻系統(tǒng)的制造能力。在中國，Cymer已深耕二十五載，并將持續(xù)強(qiáng)化對(duì)客戶的支持舉措，全力協(xié)助客戶提升生產(chǎn)效能。

歡迎前往N5館·N5022展位探索DUV光源的奧秘，與Cymer一同慶祝周年紀(jì)念吧！

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