專(zhuān)注于半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件領(lǐng)域的綜合性射頻等離子系統(tǒng)供應(yīng)商勵(lì)兆科技近日傳出喜訊，公司完成數(shù)千萬(wàn)元Pre-A++輪融資，并正式啟用位于上海臨港的新廠區(qū)，為其在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展增添了濃墨重彩的一筆。

本輪融資由金浦智能領(lǐng)投，臨港科創(chuàng)投等投資方共同參與投資，強(qiáng)大的資本助力將進(jìn)一步推動(dòng)勵(lì)兆科技在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)能擴(kuò)張和市場(chǎng)拓展等方面的快速發(fā)展。

勵(lì)兆科技的核心創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)由多位半導(dǎo)體行業(yè)的青年科學(xué)家組成，專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域涵蓋射頻電力電子技術(shù)、等離子體科學(xué)和半導(dǎo)體設(shè)備工藝等研究方向。其主要產(chǎn)品包括射頻電源（RF Generator）、自動(dòng)匹配器（Auto Matcher）、遠(yuǎn)程等離子源（Remote Plasma Source）、等離子體探測(cè)器（VI Sensor）以及相關(guān)的各種射頻部件等。這些產(chǎn)品均已通過(guò)國(guó)內(nèi)主要客戶(hù)的驗(yàn)證，并逐步批量導(dǎo)入刻蝕（Etch）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、快速退火（RTP）和離子注入（Implant）等工藝的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中。

2024 年 11 月，勵(lì)兆科技臨港產(chǎn)業(yè)化基地入駐儀式在臨港藍(lán)灣隆重舉行，臨港管委會(huì)高科處、臨港奉賢公司、上海交大臨港智創(chuàng)公司、以及產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作伙伴共同見(jiàn)證了這一重要時(shí)刻。臨港工廠總面積約4400平米，其中包括了半導(dǎo)體級(jí)千級(jí)無(wú)塵車(chē)間、可靠性實(shí)驗(yàn)室以及配備多臺(tái)HASS設(shè)備的老化車(chē)間，將建成覆蓋射頻電源、自動(dòng)匹配器、遠(yuǎn)程等離子源等射頻產(chǎn)品的多條生產(chǎn)線(xiàn)，以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備核心射頻零部件的全面量產(chǎn)，進(jìn)一步加速?lài)?guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程。

星光趕路，披荊斬棘，勵(lì)兆團(tuán)隊(duì)志存高遠(yuǎn)，立足于自我創(chuàng)新，先后高效率高質(zhì)量的開(kāi)發(fā)驗(yàn)證成功定型了幾十款半導(dǎo)體設(shè)備專(zhuān)用的射頻產(chǎn)品。公司管理層表示，在下一步的戰(zhàn)略規(guī)劃中，勵(lì)兆將和客戶(hù)緊密合作，全面配合下一代先進(jìn)半導(dǎo)體工藝，努力創(chuàng)新開(kāi)發(fā)新一代射頻產(chǎn)品，來(lái)嘗試為實(shí)現(xiàn)有中國(guó)特色的先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)發(fā)展之路貢獻(xiàn)勵(lì)兆的力量，同步實(shí)現(xiàn)自身的產(chǎn)業(yè)理想與商業(yè)價(jià)值。

本輪領(lǐng)投方金浦智能總裁田華峰表示，金浦智能很榮幸能領(lǐng)投勵(lì)兆科技本輪的融資。在基金基石投資人臨港集團(tuán)的鼎力支持下，金浦智能團(tuán)隊(duì)在勵(lì)兆科技成立之初就積極整合資源為其賦能，并且很高興看到在趙馗博士的帶領(lǐng)下，短短兩年時(shí)間內(nèi)就建立起高素質(zhì)的管理團(tuán)隊(duì)，形成了高壁壘的產(chǎn)品體系，并且其產(chǎn)品已經(jīng)順利進(jìn)入國(guó)內(nèi)多家設(shè)備龍頭與晶圓制造大廠。

金浦智能項(xiàng)目負(fù)責(zé)人業(yè)務(wù)董事梁釗表示，射頻電源是半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件之一。我們一直在尋找優(yōu)秀的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)，以打破國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體高端射頻產(chǎn)品嚴(yán)重依賴(lài)海外供應(yīng)商的局面。勵(lì)兆團(tuán)隊(duì)是國(guó)內(nèi)少有的穩(wěn)扎穩(wěn)打的原創(chuàng)射頻電源開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)，在兩年多時(shí)間已發(fā)展到近百人，開(kāi)發(fā)了幾十款射頻產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了多級(jí)脈沖、先進(jìn)調(diào)頻等技術(shù)在先進(jìn)工藝刻蝕以及沉積設(shè)備上的使用，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在先進(jìn)工藝上的突破提供了強(qiáng)力支持。我們堅(jiān)信勵(lì)兆科技一定會(huì)為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)做出更大貢獻(xiàn)。