近日，上海勵兆科技宣布完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，Monolith礪思資本、中芯聚源、臨港科創(chuàng)投參與本輪投資。

勵兆科技成立于2022年，是一家專注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域的射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商。該公司首席科學(xué)家是上海交大副教授/博導(dǎo)，曾在美國頂級學(xué)府從事高頻電力電子的研究；副總裁宋偉畢業(yè)于北航，是前愛思強(qiáng)中國區(qū)總經(jīng)理。

據(jù)悉，勵兆科技的主要產(chǎn)品是等離子射頻電源及其配套系統(tǒng)和遠(yuǎn)程等離子源(RPS)系統(tǒng)，而這些產(chǎn)品的基本作用就是在相關(guān)半導(dǎo)體工藝設(shè)備中產(chǎn)生等離子體并達(dá)成相關(guān)各種工藝。

據(jù)悉，射頻電源是產(chǎn)生等離子體的核心器件，高性能的大功率射頻電源是國產(chǎn)化先進(jìn)制程的必要設(shè)備。

Monolith礪思資本消息顯示，勵兆科技成立一年便開發(fā)出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產(chǎn)品，部分關(guān)鍵性能參數(shù)已達(dá)到國際先進(jìn)水平，比如功率可調(diào)精度在0.1瓦，脈沖頻率從2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合獨有MOFT調(diào)頻功能 (模型導(dǎo)向的自動調(diào)頻技術(shù))，能實現(xiàn)亞毫秒量級的高速阻抗匹配，可以有效地滿足多種工藝的需求，在國內(nèi)率先為先進(jìn)蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

在遠(yuǎn)程等離子源(RPS)領(lǐng)域，勵兆科技正在開發(fā)一款可用于12寸晶圓去膠/氧化/清潔等工藝領(lǐng)域的產(chǎn)品，預(yù)計在年底可為關(guān)鍵客戶送樣測試。（校對/趙碧瑩）