集微首發(fā) ｜上海勵兆科技發(fā)布多款射頻等離子解決方案新品

作者：愛集微 2024-03-04

來源：愛集微 #上海勵兆科技# #射頻產(chǎn)品# #勵兆科技#

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近日在公司成立十八個月之際，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商上海勵兆科技向市場發(fā)布了多款射頻等離子解決方案新品，包括東海(ES)系列遠(yuǎn)程等離子源和具備脈沖匹配功能的衡山(Heng)系列全自動射頻負(fù)載匹配器等等；配合已經(jīng)量產(chǎn)的具備多級脈沖功能的黃河(YR)系列射頻電源，勵兆科技為泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供一站式射頻整體解決方案。

東海(ES)系列遠(yuǎn)程等離子源

遠(yuǎn)程等離子源(RPS)是一種利用電磁耦合原理，產(chǎn)生射頻能量把產(chǎn)品內(nèi)部腔體的氣體激發(fā)成等離子體的裝置，其產(chǎn)生的等離子體可以輸入用戶真空腔體參與相關(guān)工藝反應(yīng)。遠(yuǎn)程等離子源獨(dú)立存在于用戶真空腔體之外，它產(chǎn)生的等離子體經(jīng)過擴(kuò)散和運(yùn)輸之后以自由基(Radicals)為主參與用戶腔體內(nèi)各種工藝反應(yīng)。與在用戶腔體內(nèi)直接產(chǎn)生的以離子電子為主的等離子體相比，以自由基為主的等離子體參與工藝反應(yīng)可以減輕離子轟擊對工藝對象產(chǎn)生的物理損傷和熱負(fù)荷，因此遠(yuǎn)程等離子源非常適合需要避免離子轟擊及高熱負(fù)荷的工藝。它通常被用于在真空腔體中進(jìn)行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝，也可以用于對工藝腔體進(jìn)行分子級清洗。除了半導(dǎo)體相關(guān)的應(yīng)用之外，遠(yuǎn)程等離子源還可以被廣泛應(yīng)用到新材料、新能源、環(huán)境科學(xué)、生物醫(yī)藥等多個領(lǐng)域。

勵兆東海系列遠(yuǎn)程等離子源產(chǎn)生的等離子體潔凈程度高，顆粒污染特別是金屬顆粒污染程度極低，滿足半導(dǎo)體前道工藝顆粒度標(biāo)準(zhǔn)，本產(chǎn)品產(chǎn)生的等離子體可以直接輸入半導(dǎo)體工藝腔體參與晶圓工藝(On-Wafer Process)。

這次勵兆科技發(fā)布的東海ES6遠(yuǎn)程等離子源可以支持的工藝氣體包括氧氣/氮?dú)?氬氣/水汽/氫氣/氨氣等等。在半導(dǎo)體領(lǐng)域根據(jù)工藝的需求，它可以被用于晶圓清潔/預(yù)處理/去膠/氧化/氮化等領(lǐng)域，可以搭配工作的工藝機(jī)臺包括Etch/Strip/ALD/PVD/RTP/Clean。在半導(dǎo)體之外的領(lǐng)域，根據(jù)需求，它可以被用作各種材料表面的清潔/氧化/氮化等等目的。

東海ES6設(shè)計(jì)功率為2~6kW，點(diǎn)火及工藝窗口推薦值為0.5~2Torr，1~6SLM，工藝窗口可以根據(jù)客戶使用場景進(jìn)行不同程度的擴(kuò)展。

衡山(Heng)系列自動射頻負(fù)載匹配器

射頻負(fù)載匹配器，是一種用于匹配射頻電源和負(fù)載之間的阻抗的設(shè)備。由于相關(guān)半導(dǎo)體工藝中作為負(fù)載的等離子體本身為動態(tài)負(fù)載，為了有效地將能量傳輸?shù)焦に囏?fù)載中，射頻電源工作時就可以利用射頻負(fù)載匹配器來調(diào)整與負(fù)載之間的阻抗，達(dá)到優(yōu)化射頻系統(tǒng)中能量傳輸?shù)男什p小傳輸損耗的目的。射頻負(fù)載匹配器的工作原理是通過調(diào)整其內(nèi)部的電氣原件如電容電感等來實(shí)現(xiàn)阻抗的調(diào)整和匹配，這個過程通常根據(jù)工藝需求可以是手動，半自動或者全自動的。

而在先進(jìn)的半導(dǎo)體刻蝕等工藝中，射頻電源通常需要具備脈沖甚至多級脈沖功能以建立足夠的工藝裕量。對于這類脈沖射頻電源的應(yīng)用和匹配，具備射頻脈沖檢測和匹配能力的全自動匹配器是市面常見的主流解決方案。目前這個細(xì)分市場主要被海外的半導(dǎo)體零部件龍頭企業(yè)壟斷，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司也多采用他們的解決方案。

勵兆團(tuán)隊(duì)基于自身扎實(shí)的半導(dǎo)體工藝背景和強(qiáng)大的射頻產(chǎn)品設(shè)計(jì)能力，從成立之初就瞄準(zhǔn)了這塊尚處于國產(chǎn)空白的細(xì)分市場，經(jīng)過一年多的研發(fā)和反復(fù)現(xiàn)場測試，現(xiàn)在正式向半導(dǎo)體設(shè)備市場發(fā)布衡山(Heng)系列全自動射頻負(fù)載匹配器產(chǎn)品。Heng系列產(chǎn)品在功能設(shè)計(jì)上對標(biāo)目前海外公司主流產(chǎn)品，具備高匹配精度和快速響應(yīng)特性，支持脈沖匹配和寬頻帶等特殊功能。

為了滿足不同半導(dǎo)體工藝需求角度，Heng系列全自動射頻負(fù)載匹配器可以進(jìn)行多樣化的客制化配置，比如為干法去膠(Dry Strip)的配置Π型匹配網(wǎng)絡(luò)，為PECVD應(yīng)用配置多頻全自動功能，為ALD應(yīng)用定制的匹配器配合電源掃頻功能等等。

目前半導(dǎo)體工藝中最常用的是13.56MHz 3000W以內(nèi)的射頻電源，衡山（Heng）系列全自動匹配器中搭配此射頻電源使用的型號為Heng3013，也是衡山（Heng）系列最有代表性的主打產(chǎn)品。基于公司最新開發(fā)的匹配算法，一般匹配時間在優(yōu)化預(yù)設(shè)值后小于1秒，無預(yù)設(shè)值的遠(yuǎn)端匹配時間約2秒以內(nèi)，脈沖頻率范圍為10Hz至5KHz。