近日，上海勵(lì)兆科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“勵(lì)兆科技”）上海臨港工廠入駐儀式在臨港藍(lán)灣舉行。

（來源：臨港藍(lán)灣）

勵(lì)兆科技是一家半導(dǎo)體設(shè)備專用射頻產(chǎn)品供應(yīng)商，致力于為先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備開發(fā)生產(chǎn)射頻電源，自動(dòng)匹配器和遠(yuǎn)程等離子源等關(guān)鍵零部件并提供一站式射頻解決方案。

據(jù)悉，作為臨港集團(tuán)“十四五”科創(chuàng)重點(diǎn)扶持項(xiàng)目，其自主研發(fā)的各類相關(guān)射頻產(chǎn)品，技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際主流水平，致力于解決國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件“卡脖子”問題。勵(lì)兆科技臨港產(chǎn)業(yè)化基地約4400平米，將建成覆蓋射頻電源、自動(dòng)匹配器和RPS遠(yuǎn)程等離子源等射頻產(chǎn)品的多條生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備核心射頻零部件的全面量產(chǎn)。

在半導(dǎo)體射頻電源領(lǐng)域，射頻和等離子體系統(tǒng)是刻蝕等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件，具有較高的技術(shù)難度和壁壘，是我國(guó)“卡脖子”的核心部件。目前，國(guó)產(chǎn)射頻系統(tǒng)嚴(yán)重依賴進(jìn)口，國(guó)產(chǎn)化率僅1-5%，國(guó)產(chǎn)替代空間大。隨著勵(lì)兆科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)發(fā)布多級(jí)脈沖射頻電源產(chǎn)品，標(biāo)志著勵(lì)兆科技的技術(shù)達(dá)到了射頻電源領(lǐng)域的第一梯隊(duì)，可滿足半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件國(guó)產(chǎn)化的迫切需求。