2024年8月，上海市閔行區(qū)浦江智慧廣場(chǎng)，勵(lì)兆科技總部訊：

在公司成立兩周年之際，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件射頻/等離子系統(tǒng)供應(yīng)商上海勵(lì)兆科技正式向市場(chǎng)發(fā)布了遠(yuǎn)程等離子解決方案新品 – 南海系列（SS series）具備先進(jìn)氧化鋁涂層的遠(yuǎn)程等離子源（Remote Plasma Source）; 該產(chǎn)品配有硬陽(yáng)極氧化（HA, Hard Anodization）或微弧氧化（MAO, Micro-Arc Oxidation）兩種腔體表面涂層工藝，廣泛用于半導(dǎo)體前道薄膜沉積工藝腔體清洗,以及FCVD等遠(yuǎn)程等離子體參與制程反應(yīng)的工藝應(yīng)用。

這是勵(lì)兆科技繼年初發(fā)布東海系列（ES series）石英腔射頻遠(yuǎn)程等離子源之后，在遠(yuǎn)程等離子源產(chǎn)品取得的進(jìn)一步突破；豐富的遠(yuǎn)程等離子源產(chǎn)品為勵(lì)兆科技成為在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的最先進(jìn)的等離子系統(tǒng)全面解決方案供應(yīng)商奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。除了遠(yuǎn)程等離子產(chǎn)品外，在過(guò)去兩年里，勵(lì)兆科技開(kāi)發(fā)了4個(gè)系列的射頻電源，和30多款射頻匹配器，覆蓋了刻蝕、薄膜沉積（PECVD/PVD/ALD）、去膠和離子注入中絕大部分的工藝應(yīng)用，并獲得了市場(chǎng)的認(rèn)可。與此同時(shí)，公司在上海浦江園區(qū)及臨港奉賢園區(qū)建設(shè)了3000多平米的辦公和研發(fā)空間，以及總計(jì)4000多平米的生產(chǎn)車間，以逐步擴(kuò)充產(chǎn)能。勵(lì)兆科技總經(jīng)理趙馗在訪談中表示，勵(lì)兆團(tuán)隊(duì)熟悉半導(dǎo)體工藝應(yīng)用，在技術(shù)支持方面，能快速響應(yīng)客戶的要求，解決現(xiàn)場(chǎng)的問(wèn)題，贏得了客戶的信賴。未來(lái)公司將持續(xù)投入研發(fā)，建立更加豐富的產(chǎn)品組合，以滿足客戶不斷迭代的工藝應(yīng)用需求。

南海(SS)系列遠(yuǎn)程等離子源

遠(yuǎn)程等離子源(RPS)產(chǎn)品是一種利用電磁耦合原理，產(chǎn)生射頻能量把產(chǎn)品內(nèi)部腔體的氣體激發(fā)成等離子體的裝置。遠(yuǎn)程等離子源獨(dú)立存在于用戶真空腔體之外，它產(chǎn)生的等離子體經(jīng)過(guò)擴(kuò)散和運(yùn)輸之后以自由基(Radicals)為主參與用戶腔體內(nèi)各種工藝需求，包括腔體清潔或參與特定制程工藝反應(yīng)。

勵(lì)兆南海系列遠(yuǎn)程等離子源采用400Khz射頻系統(tǒng)和具備先進(jìn)氧化涂層工藝的鋁腔為自身的反應(yīng)腔體，可以處理包括NF3/NH3/H2/H2/O2/Ar/He在內(nèi)等等各種特殊氣體，滿足半導(dǎo)體前道先進(jìn)工藝的各種需求，尤其是各種半導(dǎo)體薄膜沉積工藝腔體的遠(yuǎn)程等離子體清潔需求。

遠(yuǎn)程等離子體清洗是利用三氟化氮(NF3)氣體在等離子體作用下離化為F-、F*等活性自由基，具有高能量的這些基團(tuán)和二氧化硅、氮化硅等反應(yīng)，形成揮發(fā)相氟化硅，從而清除工藝過(guò)程中在腔室除襯底表面其余部位的二氧化硅、氮化硅薄膜殘余積累，達(dá)到腔室清洗的效果。

SS-10遠(yuǎn)程等離子源

SS-10 作為勵(lì)兆南海系列遠(yuǎn)程等離子源首款面試的產(chǎn)品，它的設(shè)計(jì)功率為2~10kW，點(diǎn)火窗口推薦值為Ar 1~5Torr，1~5SLM，NF3工藝窗口推薦值為1~10Torr，1~8SLM，可以根據(jù)客戶使用場(chǎng)景進(jìn)行不同程度的擴(kuò)展。根據(jù)當(dāng)前的內(nèi)部測(cè)試結(jié)果和Beta樣機(jī)在客戶端的表現(xiàn)，該產(chǎn)品在點(diǎn)火性能和轉(zhuǎn)換效率方面表現(xiàn)出不錯(cuò)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

關(guān)于上海勵(lì)兆科技

上海勵(lì)兆科技有限公司成立于2022年8月，創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)由海內(nèi)外知名高校博士、碩士組成，擁有豐富的射頻電源系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備等離子體應(yīng)用相關(guān)的研發(fā)與集成經(jīng)驗(yàn)。經(jīng)過(guò)兩年的產(chǎn)品和市場(chǎng)開(kāi)發(fā)，目前公司已經(jīng)具備為各種先進(jìn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供全面射頻和等離子系統(tǒng)解決方案的技術(shù)能力（Total RF & Plasma Solution），主要產(chǎn)品包括支持多級(jí)脈沖和高級(jí)掃頻功能的先進(jìn)射頻電源（RF Generator），單頻/混頻全自動(dòng)射頻匹配器（RF Matcher），石英腔或鋁腔射頻遠(yuǎn)程等離子源（Remote Plasma Source），以及射頻調(diào)諧器（RF Tuner）/射頻濾波器（RF Filter）/靜電吸盤高壓模塊（ESC HV）等等。

目前勵(lì)兆科技已經(jīng)開(kāi)放上述產(chǎn)品與客戶間的合作與銷售，并歡迎有興趣的客戶瀏覽公司官網(wǎng)(http://www.smet-inc.com/)或與公司直接聯(lián)系，聯(lián)系郵箱是sales@smet-inc.com.