近日半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商上海勵(lì)兆科技向市場(chǎng)發(fā)布了具備多級(jí)脈沖功能(MLP, Multi-Level Pulsing)的半導(dǎo)體射頻電源，該功能初期覆蓋勵(lì)兆旗下已有的13.56MHz和400KHz兩個(gè)系列電源產(chǎn)品，即將推出的另一頻段系列產(chǎn)品也將具備此功能。

在先進(jìn)的半導(dǎo)體加工工藝中，等離子蝕刻作為過(guò)去十余年中發(fā)展變化最為迅速的半導(dǎo)體工藝技術(shù)之一，對(duì)于射頻等離子電源的需求已經(jīng)逐步從連續(xù)波模式（CW）運(yùn)行到脈沖模式（ON-OFF，Level-to-Level）。在相關(guān)等離子刻蝕設(shè)備中，通常將源RF功率和偏置RF（一個(gè)或多個(gè)）功率施加到電極上;其中，源RF功率和偏置RF功率可以設(shè)置為同步的脈沖信號(hào)，它們可以共同定義具備多個(gè)多態(tài)脈沖RF周期以建立足夠的刻蝕工藝裕量。而這些工藝裕量對(duì)于實(shí)現(xiàn)各種先進(jìn)制程中的高深寬比（HAR）刻蝕是關(guān)鍵的也是必須的。

先進(jìn)半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備廠商已廣泛使用多級(jí)射頻脈沖功能來(lái)達(dá)成各種復(fù)雜的等離子體刻蝕工藝條件以保證他們刻蝕設(shè)備的工藝領(lǐng)先性。而具備多級(jí)脈沖功能的射頻電源就是實(shí)現(xiàn)這種工藝領(lǐng)先的基礎(chǔ)之一。

勵(lì)兆科技的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)來(lái)自海內(nèi)外知名高校和研究機(jī)構(gòu)，擁有多年先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)，超過(guò)十年的射頻電源系統(tǒng)研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn)，在基礎(chǔ)研究，產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，工藝應(yīng)用和市場(chǎng)拓展等多個(gè)方面有著深厚的積累。自2022年8月成立以來(lái)，團(tuán)隊(duì)放眼于該領(lǐng)域的最新技術(shù)和應(yīng)用，定位于為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)最先進(jìn)的射頻電源解決方案。經(jīng)過(guò)一年多跨專(zhuān)業(yè)的高效配合，勵(lì)兆研發(fā)團(tuán)隊(duì)在今年6月首發(fā)單級(jí)脈沖射頻電源的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步完善產(chǎn)品功能，這次正式發(fā)布MLP多級(jí)脈沖射頻電源產(chǎn)品。同時(shí)勵(lì)兆也展示了多級(jí)脈沖在刻蝕工藝腔體內(nèi)的實(shí)測(cè)波形（如下圖）

對(duì)于這次發(fā)布的新功能，勵(lì)兆科技副總裁宋偉認(rèn)為具備多級(jí)脈沖射頻電源產(chǎn)品代表了勵(lì)兆科技達(dá)到了這一技術(shù)領(lǐng)域的世界先進(jìn)水平，需要團(tuán)隊(duì)有扎實(shí)射頻功放產(chǎn)品工程技術(shù)和算法設(shè)計(jì)能力，并與半導(dǎo)體等離子體加工工藝深度結(jié)合才能為客戶(hù)提供客制化的解決方案。

勵(lì)兆科技創(chuàng)始人趙馗博士則表示公司自成立之初就把為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商提供最先進(jìn)射頻等離子體解決方案作為自己的商業(yè)承諾，這次順利發(fā)布多級(jí)脈沖射頻電源產(chǎn)品是公司內(nèi)部跨專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)完美合作的結(jié)果。

目前勵(lì)兆科技已經(jīng)開(kāi)放該產(chǎn)品與客戶(hù)間的合作與銷(xiāo)售，并歡迎有興趣的客戶(hù)與勵(lì)兆科技直接聯(lián)系，聯(lián)系郵箱是sales@smet-inc.com.