江蘇首臺（套）重大裝備擬認(rèn)定名單公示，含直寫光刻機等

作者：劉沁宇 2023-09-06

來源：愛集微 #江蘇# #裝備# #華瑛微電#

3.7w

9月4日，江蘇省工業(yè)和信息化廳公示2023年江蘇省首臺（套）重大裝備擬認(rèn)定名單，公示期為2023年9月4日至9月10日。

從名單來看，這些裝備涉及集成電路、“兩機”、基礎(chǔ)工藝、核心部件等多個領(lǐng)域，包括無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司的Ultar DTL-ms300動態(tài)薄層晶圓表面污染提取測量設(shè)備，無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司的DEM4000直寫光刻機，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司的先進(jìn)集成電路生產(chǎn)制造用原子層沉積設(shè)備（iTomic Hik），恩納基智能科技無錫有限公司的IGBT功率模塊系統(tǒng)級多芯片智能貼裝裝備（M18MAX）等。

以下是部分名單：