9月27日,江蘇省工業(yè)和信息化廳對(duì)“2024年度江蘇省首臺(tái)(套)重大裝備名單”進(jìn)行公布,105個(gè)裝備入選,名單自公布之日起三年內(nèi)有效。
其中,上榜裝備包括南京中安半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司“WGT300-M 大硅片晶圓平整度翹曲度檢測(cè)設(shè)備”、南京宏泰半導(dǎo)體科技股份有限公司“MS8000型超大規(guī)模集成電路混合信號(hào)測(cè)試系統(tǒng)”、無(wú)錫卓海科技股份有限公司“ZH-PR12A 晶圓前道用高精密四探針電阻測(cè)試儀”、蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司“ZCSS-01 Spin復(fù)合機(jī)”、芯三代半導(dǎo)體科技 (蘇州) 股份有限公司“PE1T51-6011AB 六英寸垂直式碳化硅外延設(shè)備”。