江蘇省首臺(tái)（套）重大裝備名單公示，中安半導(dǎo)體、宏泰半導(dǎo)體等上榜

作者：依然 2024-10-08

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9月27日，江蘇省工業(yè)和信息化廳對(duì)“2024年度江蘇省首臺(tái)（套）重大裝備名單”進(jìn)行公布，105個(gè)裝備入選，名單自公布之日起三年內(nèi)有效。

其中，上榜裝備包括南京中安半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司“WGT300-M 大硅片晶圓平整度翹曲度檢測(cè)設(shè)備”、南京宏泰半導(dǎo)體科技股份有限公司“MS8000型超大規(guī)模集成電路混合信號(hào)測(cè)試系統(tǒng)”、無(wú)錫卓海科技股份有限公司“ZH-PR12A 晶圓前道用高精密四探針電阻測(cè)試儀”、蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司“ZCSS-01 Spin復(fù)合機(jī)”、芯三代半導(dǎo)體科技 (蘇州) 股份有限公司“PE1T51-6011AB 六英寸垂直式碳化硅外延設(shè)備”。