近日，被譽為“納米神筆”的國產電子束光刻機在杭州余杭正式亮相。這臺設備由浙大余杭量子研究院自主研發(fā)，型號為“羲之”，已完成研發(fā)并進入應用測試階段，標志著我國在高端芯片研發(fā)核心裝備領域取得重大突破。

圖片來自：余杭發(fā)布

據(jù)介紹，作為基地首批簽約孵化項目，“羲之”是一款新一代100kV電子束光刻機，模樣酷似大型鋼柜，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)，專注于量子芯片和新型半導體器件的前沿工藝開發(fā)。它無需掩模版，通過高能電子束直接在硅片表面“手寫”電路，精度可達0.6nm、線寬僅8nm，可多次修改設計，大幅提高研發(fā)效率。

據(jù)研發(fā)團隊負責人表示，“這不僅是一臺設備，更像一支能在頭發(fā)絲上雕刻整座城市地圖的納米畫筆?！迸c傳統(tǒng)光刻機相比，電子束光刻機在原型設計、快速迭代和小批量試制方面具有獨特優(yōu)勢?！靶酒邪l(fā)初期會設計很多版型、圖案，常常需要一條線一條線進行修改，電子束光刻機精度高、‘書寫’便捷，極大提升了芯片研發(fā)初期反復調試的效率?！?/p>

“羲之”的命名源自中國古代書法大家王羲之，寓意用電子束代替毛筆，在芯片上“寫字作畫”。其性能已比肩國際主流水平，為國內量子芯片等高端器件的研發(fā)提供了自主可控的“刻刀”。

此前，先進電子束光刻機類設備受國際出口管制，國內頂尖科研機構和企業(yè)長期無法采購，“羲之”的落地徹底打破這一困局，目前已與國內企業(yè)及多家科研機構展開接洽。（校對/趙月）