6月28日-29日，以“跨越邊界 新質(zhì)未來(lái)”為主題的2024第八屆集微半導(dǎo)體大會(huì)在廈門國(guó)際會(huì)議中心酒店盛大舉辦。
首日，第二屆集微半導(dǎo)體制造大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈突破獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)典禮在線下成功舉辦。合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司（簡(jiǎn)稱：合肥欣奕華）半導(dǎo)體事業(yè)部總經(jīng)理?xiàng)詈＼娫跁?huì)上發(fā)表了題為《持續(xù)創(chuàng)新，推進(jìn)潔凈領(lǐng)域物流系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化》的主題演講，就AMHS發(fā)展?fàn)顩r、國(guó)產(chǎn)化替代、國(guó)產(chǎn)廠商面臨的挑戰(zhàn)，以及合肥欣奕華在AMHS領(lǐng)域所取得成果等進(jìn)行深度分析、交流分享。
合肥欣奕華半導(dǎo)體事業(yè)部總經(jīng)理?xiàng)詈＼?br/>
AMHS系統(tǒng)發(fā)展現(xiàn)狀
在當(dāng)今的半導(dǎo)體制造業(yè)中，AMHS系統(tǒng)作為連接生產(chǎn)線各環(huán)節(jié)的重要紐帶，其效能和智能化水平直接影響著整個(gè)生產(chǎn)線的運(yùn)行效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
據(jù)楊海軍介紹，AMHS系統(tǒng)已經(jīng)歷了第一代分離式全自動(dòng)化系統(tǒng)、第二代一體式全自動(dòng)化系統(tǒng)及第三代智能化AMHS系統(tǒng)的發(fā)展，第三代AMHS系統(tǒng)具有智能、大規(guī)模隨機(jī)性、實(shí)時(shí)性、動(dòng)態(tài)負(fù)載平衡等特點(diǎn)，不僅在半導(dǎo)體制造行業(yè)中發(fā)揮作用，在硅片生產(chǎn)、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體與新型顯示行業(yè)中的滲透率也在上升。
從市場(chǎng)規(guī)模來(lái)看，2023年全球AMHS系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模約300億元，預(yù)計(jì)2024-2028年，全球AMHS系統(tǒng)市場(chǎng)將以6.0%左右的年均復(fù)合增長(zhǎng)率增長(zhǎng)。但由于受技術(shù)、產(chǎn)品價(jià)格等因素的影響，AMHS系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化率僅為5%左右。
楊海軍指出，近些年來(lái)，國(guó)內(nèi)量產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓工廠所使用的AMHS系統(tǒng)由國(guó)外公司壟斷，不僅產(chǎn)品及售后價(jià)格昂貴，而且AMHS軟件系統(tǒng)抓取的數(shù)據(jù)涉及客戶技術(shù)工藝秘密和數(shù)據(jù)安全，是國(guó)家芯片產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期穩(wěn)定發(fā)展的巨大隱憂。
另外，從AMHS國(guó)產(chǎn)廠商來(lái)看，目前仍面臨著產(chǎn)品驗(yàn)證周期長(zhǎng)、研發(fā)人才稀缺、供應(yīng)鏈尚未完善、行業(yè)經(jīng)驗(yàn)與整體規(guī)劃能力有待提升等方面的影響。
致力推動(dòng)AMHS國(guó)產(chǎn)化
目前來(lái)看，AMHS設(shè)備面臨著隨時(shí)被“卡脖子”的形勢(shì)，AMHS設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化大勢(shì)已不可逆，近幾年國(guó)產(chǎn)化環(huán)境也持續(xù)向好，一批優(yōu)秀的本土廠商脫穎而出。
其中，國(guó)產(chǎn)替代代表廠商合肥欣奕華專注于AMHS設(shè)備研發(fā)，致力于實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈自主可控。該公司成立于2013年，可為半導(dǎo)體客戶Fab提供半導(dǎo)體OHT、Stocker、NTB等AMHS整體解決方案的廠商，合肥欣奕華自主研發(fā)的OHT走行速度最高可達(dá)320m/min，振動(dòng)≤0.5G，擁有自主開發(fā)的路徑探索算法，支持控制系統(tǒng)不停機(jī)更新，搬送效率達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，能有效助力半導(dǎo)體生產(chǎn)線縮短生產(chǎn)節(jié)拍、提高稼動(dòng)率、提升直送比等。
楊海軍稱，目前，合肥欣奕華研發(fā)的半導(dǎo)體AMHS的設(shè)備運(yùn)行速度、振動(dòng)控制、搬送負(fù)載、定位精度等各項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù)均已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)能提供軟硬件成套化、產(chǎn)品客制化、供應(yīng)鏈本土化的半導(dǎo)體AMHS整體解決方案供應(yīng)商，在大規(guī)模動(dòng)態(tài)調(diào)度、高速運(yùn)行、振動(dòng)控制等關(guān)鍵技術(shù)方面實(shí)現(xiàn)了全自主研發(fā)突破，具備AMHS多種布局設(shè)計(jì)能力，可根據(jù)客戶需求靈活的布置軌道和存儲(chǔ)方案，實(shí)現(xiàn)最優(yōu)配置，為客戶提供全方位的靈活定制化方案。
除半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)之外，合肥欣奕華在光伏、顯示等高端裝備領(lǐng)域均成績(jī)斐然，公司不斷增強(qiáng)對(duì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)的大力投入，技術(shù)護(hù)城河持續(xù)升溫，近年來(lái)自主研發(fā)的鈣鈦礦蒸鍍?cè)O(shè)備、Mini/Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備皆為國(guó)內(nèi)首臺(tái)套，可對(duì)標(biāo)全球技術(shù)水平。
這些成就的取得，充分彰顯合肥欣奕華的遠(yuǎn)見與格局。一是在十年前意識(shí)到全產(chǎn)業(yè)鏈布局的重要性，持續(xù)著力全產(chǎn)業(yè)鏈布局，不僅保證了AMHS設(shè)備的自主開發(fā)，且產(chǎn)品覆蓋品類也更加寬廣。二是雄厚的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和持續(xù)的研發(fā)投入。目前公司擁有670多名員工，技術(shù)人員占比超過(guò)70%，海外專家30多人，其中本科及以上占比超過(guò)90%，在新材料、新設(shè)計(jì)的運(yùn)用、先進(jìn)Junction控制系統(tǒng)、最短路徑算法+大數(shù)據(jù)分析+配車動(dòng)態(tài)平衡、FDC助力智能維護(hù)等方面具有持續(xù)創(chuàng)新的能力。
楊海軍表示，“公司擁有AMHS全知識(shí)產(chǎn)權(quán)與整體解決方案，成功為12英寸前道晶圓廠、12英寸硅片廠、8英寸顯示芯片、8英寸前道晶圓廠 、8英寸Micro-LED晶圓廠等多家客戶提供了AMHS整體解決方案，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代。公司致力技術(shù)創(chuàng)新，在‘政、用、產(chǎn)、學(xué)、研’等方面與國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈廠商攜手奮進(jìn)，共同制定行業(yè)技術(shù)規(guī)范，推動(dòng)AMHS國(guó)產(chǎn)化的持續(xù)發(fā)展?！?/p>
