天眼查顯示，合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司“一種基于改善膜厚均一性的線性蒸鍍裝置”專利公布，申請(qǐng)公布日為2025年3月14日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119615066A。

本發(fā)明公開了一種基于改善膜厚均一性的線性蒸鍍裝置，包括基板、基板傳送導(dǎo)軌、擋板、點(diǎn)源和均勻改善機(jī)構(gòu)，從上到下依次設(shè)置基板、基板傳送導(dǎo)軌、擋板和點(diǎn)源，基板滑動(dòng)設(shè)置于基板傳送導(dǎo)軌上，擋板設(shè)置于基板傳送導(dǎo)軌下方，均勻改善機(jī)構(gòu)設(shè)置于擋板和點(diǎn)源之間并固定于擋板上；均勻改善機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)組件和固定于移動(dòng)組件上的異形塊；移動(dòng)組件可滑動(dòng)設(shè)置于擋板上，異形塊靠近點(diǎn)源設(shè)置；該線性蒸鍍裝置可以根據(jù)膜厚分布設(shè)計(jì)安裝不同異形塊，調(diào)節(jié)膜厚分布，改善大尺寸膜厚均一性，提高產(chǎn)品品質(zhì)。