近日，御微半導體完成B輪融資，由合肥產投集團領投，老股東上?？苿?chuàng)系（浦東科創(chuàng)）、中芯聚源、元禾厚望持續(xù)投資支持，安徽省鐵路基金、張江科投、諾華資本、永昌盛資本、基石資本、臨芯資本、正海資本、上海固信、創(chuàng)谷資本、勤科資本（順序不分先后）等多家機構聯(lián)合投資。

本輪融資將用于御微半導體新產品開發(fā)及持續(xù)性研發(fā)投入，并拓展集成電路前道量檢測領域核心產品布局。

御微半導體是一家集成電路量檢測設備專業(yè)供應商，聚焦集成電路光學量檢測系統(tǒng)設計與系統(tǒng)集成，圍繞集成電路裝備自主化，已經形成了掩模版檢測、晶圓檢測、泛半導體檢測、晶圓測量四大領域六大類量檢測產品。

御微半導體官方消息顯示，公司自主研發(fā)的掩模缺陷檢測、晶圓缺陷檢測及晶圓套刻測量設備，多項指標均優(yōu)于國際同類型競品。（校對/韓秀榮）