日前，七星電子自主研發(fā)的Saqua系列12吋清洗機(jī)，在中芯國際完成52萬片生產(chǎn)線流片，創(chuàng)造了國產(chǎn)12吋集成電路清洗設(shè)備流片量紀(jì)錄。
作為七星電子集成電路裝備產(chǎn)品體系的重要一員，Saqua系列清洗機(jī)產(chǎn)品，是七星電子自主研發(fā)、具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的新一代高端清洗工藝設(shè)備，應(yīng)用于IC制造中銅互連清洗工藝。設(shè)備采用全新的模塊化設(shè)計理念，通過了65納米/55納米/40納米大生產(chǎn)工藝驗證，各類指標(biāo)優(yōu)異。
此前，七星電子全資子公司北方微電子推出的Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)，成功進(jìn)入中芯國際上海先進(jìn)工藝生產(chǎn)線驗證。據(jù)悉，這是北方微電子繼NMC 612D硅刻蝕機(jī)之后，第二臺進(jìn)入14納米工藝驗證階段的機(jī)臺。該系統(tǒng)是在28納米技術(shù)基礎(chǔ)上，通過設(shè)計優(yōu)化，大幅提高了系統(tǒng)潔凈度，提升了機(jī)臺的可靠性。Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)具備雙模加熱、升溫速率高、溫度均勻性好及產(chǎn)能大等特點(diǎn)，工藝指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。
長久以來，工藝水平和可靠性是困擾國產(chǎn)集成電路裝備走向規(guī)模應(yīng)用的兩大難題。此次七星電子Saqua系列清洗機(jī)成功實現(xiàn)大規(guī)模流片，標(biāo)志著公司設(shè)備在具備了生產(chǎn)工藝能力的基礎(chǔ)上，通過了嚴(yán)酷的大生產(chǎn)線驗證，在生產(chǎn)效率、穩(wěn)定性、可靠性等方面實現(xiàn)了與進(jìn)口設(shè)備相媲美的技術(shù)水平。隨著世界范圍內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的突飛猛進(jìn)，對14納米工藝設(shè)備提出了更嚴(yán)苛的挑戰(zhàn)，北方微電子14納米工藝設(shè)備開發(fā)的突破性進(jìn)展，更能體現(xiàn)出我國集成電路企業(yè)正加快先進(jìn)工藝設(shè)備的開發(fā)速度，為集成成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展作好裝備配套支撐。
