近日，七星電子（002371）半導(dǎo)體裝備家族再添新丁，公司全資子公司北京北方微電子發(fā)布了新產(chǎn)品IDE300設(shè)備，應(yīng)用于先進封裝倒裝的等離子去膠工藝。作為國內(nèi)首臺自主研發(fā)的等離子去膠設(shè)備，首批產(chǎn)品已成功交付客戶。

　　此次北方微電子推出的IDE300設(shè)備，是在原有12吋刻蝕設(shè)備的技術(shù)基礎(chǔ)上，通過逐步擴展工藝應(yīng)用而開發(fā)的新產(chǎn)品。該機臺可兼容8吋和12吋晶圓，腔室數(shù)量可以靈活配置，不但能滿足用戶對產(chǎn)線高效、低損、高均勻性的工藝要求，也最大限度的滿足了其靈活的產(chǎn)品及產(chǎn)能配置要求。

　　作為先進封裝Bumping工藝的必備設(shè)備，等離子去膠設(shè)備豐富了公司在12吋先進集成電路制造設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)品線。