證券時(shí)報(bào)記者 劉釗
近日，七星電子（002371）全資子公司北方微電子推出的Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)，成功進(jìn)入中芯國(guó)際上海先進(jìn)工藝生產(chǎn)線驗(yàn)證。據(jù)悉，這是北方微電子繼NMC 612D硅刻蝕機(jī)之后，第二臺(tái)進(jìn)入14納米工藝驗(yàn)證階段的機(jī)臺(tái)。
目前，世界范圍內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展突飛猛進(jìn)，工藝制程向更加精細(xì)化的方向發(fā)展，這對(duì)14納米工藝設(shè)備提出了更嚴(yán)苛的挑戰(zhàn)。隨著北方微電子28納米工藝設(shè)備陸續(xù)實(shí)現(xiàn)商用化，14納米工藝設(shè)備開發(fā)也取得了突破性進(jìn)展。本次推出的Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)，在28納米技術(shù)基礎(chǔ)上，通過設(shè)計(jì)優(yōu)化，大幅提高了系統(tǒng)潔凈度，提升了機(jī)臺(tái)的可靠性。Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)具備雙模加熱、升溫速率高、溫度均勻性好及產(chǎn)能大等特點(diǎn)，工藝指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
七星電子方面認(rèn)為，公司作為中國(guó)集成電路高端裝備的先行者，將深耕發(fā)展，開拓創(chuàng)新，加快先進(jìn)工藝設(shè)備的開發(fā)速度，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展作好裝備配套支撐。
