此次出機的28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備，由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制，在電子光學系統(tǒng)、運動平臺、電子電路和軟件等方向實現(xiàn)了完全自研，能有效解決我國半導體量檢測領域關鍵核心難題，對于填補我國集成電路產業(yè)關鍵環(huán)節(jié)空白、提高國產芯片高端裝備自主可控水平具有里程碑意義。

在當天活動現(xiàn)場，亙芯悅科技、上海交通大學自動化與感知學院合作共建的電子光學AI平臺聯(lián)合實驗室同步揭牌，雙方將攜手在技術創(chuàng)新、產業(yè)應用、科技人才培養(yǎng)等領域開展全面合作，通過貫通“理論突破—工藝驗證—產線落地”全鏈條，為后續(xù)設備創(chuàng)新研發(fā)注入新動能。

活動前，市領導和嘉賓一同調研亙芯悅電子束量檢測設備生產線，詳細了解企業(yè)發(fā)展歷程、人才團隊、技術路徑、核心設備等情況。

無錫亙芯悅科技有限公司是由中國科學院院士，中國工程院院士，經驗豐富的工程技術專家，業(yè)界公司創(chuàng)辦人共同發(fā)起成立的，是一家專注于研發(fā)、制造和生產半導體前道量測與檢測設備的高科技公司。前道量測與檢測設備是半導體新技術開發(fā)和半導體制造良率控制的至關重要的設備，亙芯悅研發(fā)涵蓋物理學、數(shù)學、自動化、精密機械、計算機等多個領域，研發(fā)團隊于2022年12月榮獲了無錫市新吳區(qū)飛鳳人才計劃“創(chuàng)業(yè)頂尖人才團隊”榮譽；2023年獲得國家科學技術部頒布的“國家級科技人才計劃創(chuàng)新領軍人才”榮譽。亙芯悅在無錫新吳區(qū)微納園內擁有1200多平的潔凈室，以及先進的科研硬件設施，支撐技術及產品的研發(fā)，亙芯悅在半導體前道量測與檢測技術研發(fā)上的提升與突破將助力中國半導體產業(yè)鏈的健康發(fā)展。（亙芯悅在上海市和無錫市分別有研發(fā)中心)