奕斯偉“晶圓倒角裝置和晶圓倒角方法”專(zhuān)利公布

作者：愛(ài)集微 12小時(shí)前

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天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“晶圓倒角裝置和晶圓倒角方法”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2025年3月14日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119609824A。

本公開(kāi)涉及晶圓倒角裝置和晶圓倒角方法。在一方面中，提供了一種用于對(duì)晶圓進(jìn)行倒角的裝置，其包括：磨輪，磨輪具有研磨部；第一進(jìn)給單元，用于使磨輪與晶圓之間產(chǎn)生在晶圓的徑向上的第一相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以通過(guò)研磨部沿著晶圓的徑向?qū)A的材料進(jìn)行去除的方式對(duì)晶圓的至少第一邊緣進(jìn)行倒角；第二進(jìn)給單元，用于使磨輪與晶圓之間產(chǎn)生在晶圓的厚度方向上的第二相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以通過(guò)研磨部沿著晶圓的厚度方向?qū)A的材料進(jìn)行去除的方式對(duì)晶圓的第二邊緣進(jìn)行倒角。由此，能夠通過(guò)單一磨輪獲得不同的晶圓邊緣倒角形貌。