華海清科“金屬膜厚在線測量補償方法、膜厚傳感器和設備”專利獲授權

作者：愛集微 12小時前

來源：愛集微 #華海清科#

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天眼查顯示，華海清科股份有限公司近日取得一項名為“金屬膜厚在線測量補償方法、膜厚傳感器和設備”的專利，授權公告號為CN116423378B，授權公告日為2025年3月14日，申請日為2023年4月17日。

本發(fā)明公開了一種金屬膜厚在線測量補償方法、膜厚傳感器和設備，方法包括：拋光過程中，獲取膜厚傳感器測量金屬膜厚的第n次輸出量Sn；利用此時的膜厚傳感器溫度tsn和自身溫漂函數(shù)，計算傳感器溫漂補償量ΔSsn；利用此時的晶圓溫度twn、第n?1次測定的膜厚dn?1以及晶圓溫度補償函數(shù)，計算晶圓溫漂補償量ΔSwn；計算補償后的輸出量Sn′，Sn′＝Sn?ΔSsn?ΔSwn；根據(jù)傳感器輸出函數(shù)以及所述補償后的輸出量Sn′得到第n次測定的膜厚dn。