天眼查顯示，上海果納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司近日取得一項(xiàng)名為“天車系統(tǒng)及其控制方法”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN119361496B，授權(quán)公告日為2025年3月14日，申請(qǐng)日為2024年12月14日。

本發(fā)明公開了一種天車系統(tǒng)及其控制方法，天車系統(tǒng)包括軌道組件、存儲(chǔ)組件、天車組件，軌道組件包括并行設(shè)置的第一軌道、第二軌道，其中，第二軌道一一對(duì)應(yīng)設(shè)置在工藝機(jī)臺(tái)的上方；存儲(chǔ)組件包括與工藝機(jī)臺(tái)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的存儲(chǔ)架，每一存儲(chǔ)架均靠近對(duì)應(yīng)的工藝機(jī)臺(tái)布設(shè)并位于第一軌道的下方；天車組件包括第一天車、第二天車，第一天車位于第一軌道上，用以晶圓盒在不同的存儲(chǔ)架之間的流轉(zhuǎn)；第二天車位于第二軌道上，用以晶圓盒在對(duì)應(yīng)的工藝機(jī)臺(tái)與存儲(chǔ)架之間的流轉(zhuǎn)。本發(fā)明能有效解決因天車響應(yīng)不及時(shí)導(dǎo)致的工藝機(jī)臺(tái)等待時(shí)間較長(zhǎng)的問題。