眾所周知，越精密的生產(chǎn)，對工藝參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)、嚴(yán)格的監(jiān)控就顯得越發(fā)重要。像半導(dǎo)體這樣高度精密的生產(chǎn)，涉及工序成百上千道，任何因設(shè)備老化、環(huán)境變化或工藝配方調(diào)整等導(dǎo)致的關(guān)鍵工藝參數(shù)細(xì)微波動(dòng)，都可能造成巨大事故，因此FDC異常監(jiān)控系統(tǒng)至關(guān)重要?！皼]有FDC，晶圓生產(chǎn)無異于裸奔”，越來越多高端制造企業(yè)將FDC視為生產(chǎn)之必備工具。

現(xiàn)有FDC系統(tǒng)基于統(tǒng)計(jì)與機(jī)器學(xué)習(xí)模型識(shí)別異常變化，產(chǎn)生告警，雖預(yù)留足夠的干預(yù)時(shí)間，但也存在閾值固定、配置規(guī)則復(fù)雜、警報(bào)甄別難等問題，導(dǎo)致誤報(bào)漏報(bào)率高、上手難、效率低等使用現(xiàn)狀。

據(jù)現(xiàn)場工程師反饋，過度敏感的閾值設(shè)定會(huì)導(dǎo)致虛假報(bào)警高，每天處理幾百條報(bào)警，真實(shí)警報(bào)可能不足2-3條，直接影響設(shè)備利用率(OEE)，而閾值過寬則可能遺漏潛在異常。且每次換產(chǎn)線、換設(shè)備或者調(diào)整物料配方，都要重新建模調(diào)參一兩周，特別耗時(shí)。

FabSyn-FDC升級(jí)來襲：從【監(jiān)測工具】到【智控法寶】

智現(xiàn)未來融合原FDC系統(tǒng)17余年研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，以及160+全球FAB實(shí)施落地的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)，圍繞客戶痛點(diǎn)問題，將AI先進(jìn)技術(shù)賦能到產(chǎn)品迭代中，推出了基于AI大模型技術(shù)的全新一代FDC系統(tǒng)——FabSyn FDC。

FabSyn-FDC在保留了原有的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集、130+監(jiān)控模型配置、單變量/多變量分析、數(shù)據(jù)上下鉆取及聯(lián)動(dòng)分析、SPC、OCAP管理等關(guān)鍵功能基礎(chǔ)上，還新增了智能選參、自適應(yīng)建模、智能報(bào)警分類、報(bào)警深度分析（Golden Tool Matching）、智能助手等AI煥新功能，直接破解誤報(bào)、漏報(bào)、虛假警報(bào)高、建模難等難題，為工程師帶來全新的工作體驗(yàn)。

憑借卓越的性能表現(xiàn)，F(xiàn)absyn-FDC已獲得國內(nèi)某頭部FAB廠的青睞并成功應(yīng)用。

下面就用兩個(gè)場景化案例來直觀感受FabSyn-FDC的“高效”與“簡單”。

場景一：關(guān)鍵參數(shù)推薦與自適應(yīng)建模，建模效率蹭蹭提升

• 傳統(tǒng)困境

合理的模型與規(guī)格設(shè)置完全仰賴于工程師個(gè)人經(jīng)驗(yàn)，甚至需要有基本的統(tǒng)計(jì)學(xué)思維，建模與后續(xù)調(diào)整維護(hù)工作非常耗時(shí)。

• 創(chuàng)新突破

01 自動(dòng)識(shí)別工藝過程關(guān)鍵區(qū)間，并基于數(shù)據(jù)形態(tài)進(jìn)行規(guī)格算法推薦與計(jì)算。

02 支持全工藝過程(Full-Trace)的規(guī)格類型，提升對整體數(shù)據(jù)變化過程的監(jiān)控程度。

03 對批量參數(shù)進(jìn)行規(guī)格計(jì)算，并經(jīng)由工程師確認(rèn)后批量保存。

• 產(chǎn)品成效

建模時(shí)長從原來1-2周縮短至1天完成，效率狂飆 10 倍 +

場景二：智能助手：數(shù)據(jù)探索用對話輕松搞定

• 傳統(tǒng)困境

系統(tǒng)缺乏戰(zhàn)情報(bào)表，工程師基于特定 Alarm 自主導(dǎo)出設(shè)備的 Raw Trace 與 Alarm 歷史數(shù)據(jù)，最終于本地端整合后輸出報(bào)告，整體作業(yè)極其耗費(fèi)人力。

• 創(chuàng)新突破

01 透過首頁儀表盤，迅速掌握特定設(shè)備的歷史跑貨匯總與現(xiàn)況，并定位前N個(gè)Alarm參數(shù)與設(shè)備。

02 工程師僅須提供特定設(shè)備、Run貨配方等簡單信息，便可交由智能助手協(xié)助完成報(bào)告的整合與輸出，讓工程師專注于更具價(jià)值性的產(chǎn)出。

03 整合工廠知識(shí)庫的積累，智能助手能基于歷史知識(shí)提供 Alarm 的處置建議與行動(dòng)方針做為參考依據(jù)。

• 產(chǎn)品成效

30 分鐘的 RUN 貨報(bào)告處理，1 分鐘內(nèi)快速搞定，打工人福音！

從產(chǎn)線來，到產(chǎn)線去

智現(xiàn)未來FDC系統(tǒng)已在全球160+FAB落地實(shí)施，其中國內(nèi)69家，國外100家，覆蓋8吋/12吋晶圓生產(chǎn)、LTPS、LCD、OLED、Micro-OLED等智能制造產(chǎn)線，且常年穩(wěn)定運(yùn)行在月產(chǎn)10-12萬片晶圓產(chǎn)線上，是國內(nèi)半導(dǎo)體FAB廠落地案例最多、性能最穩(wěn)定的產(chǎn)線監(jiān)測系統(tǒng)。這為AI大模型導(dǎo)入FDC完成了用戶場景、產(chǎn)品數(shù)據(jù)、規(guī)則經(jīng)驗(yàn)的早期積累。

無統(tǒng)計(jì)和機(jī)器學(xué)習(xí)基礎(chǔ)的產(chǎn)品實(shí)踐即開展AI和大模型的研究，本身缺乏根基。智現(xiàn)未來的FabSyn FDC正是在十?dāng)?shù)年的驗(yàn)證性技術(shù)基礎(chǔ)上，將豐富的FDC用戶場景積累、經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)和建模經(jīng)驗(yàn)，以及高質(zhì)量產(chǎn)品數(shù)據(jù)（設(shè)備文檔、工程師經(jīng)驗(yàn)整理的FDC模型等），解碼為“大模型+FDC”的【生長能力】，為產(chǎn)品構(gòu)建起技術(shù)可信度和超強(qiáng)落地能力。

“從產(chǎn)線中來，到產(chǎn)線中去”是智現(xiàn)未來一以貫之的產(chǎn)品發(fā)展理念。不僅是 FabSyn-FDC，其他產(chǎn)品亦是如此——圍繞客戶產(chǎn)線中的實(shí)際痛點(diǎn)，不斷提升產(chǎn)品能力和客戶體驗(yàn)。未來，我們將繼續(xù)踐行這一理念，為用戶打造更多創(chuàng)新、實(shí)用的產(chǎn)品。