以“芯”育人

在堅(jiān)守中鍛造“中國(guó)芯”

“這份榮譽(yù)不僅屬于我個(gè)人，也屬于我的團(tuán)隊(duì)，更屬于復(fù)旦大學(xué)?！睆埿l(wèi)說(shuō)，獲得“全國(guó)先進(jìn)工作者”不僅是對(duì)他的肯定，更是一種鞭策。

深耕集成電路新器件、工藝與材料研究三十載，獲國(guó)務(wù)院政府特殊津貼、全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)?，?dān)任國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)技術(shù)副總師，張衛(wèi)長(zhǎng)期投身自主創(chuàng)新，專(zhuān)注于先進(jìn)工藝技術(shù)和新型存儲(chǔ)器等研發(fā)工作，在先進(jìn)銅互連工藝、原子層沉積技術(shù)和新型器件等領(lǐng)域成果豐碩。

張衛(wèi)的時(shí)間刻度里，是被教學(xué)、科研、管理分成無(wú)數(shù)板塊的日程以及始終如一的勤勉與熱忱。2003年，他率先在國(guó)內(nèi)開(kāi)展原子層沉積技術(shù)研究，提出一系列柵介質(zhì)界面調(diào)控方法。2013年，發(fā)明了對(duì)存儲(chǔ)器芯片具有顛覆意義的半浮柵晶體管，研究成果成為我國(guó)微電子器件領(lǐng)域60多年來(lái)在Science上發(fā)表的第一篇論文，被國(guó)際同行譽(yù)為國(guó)際集成電路領(lǐng)域的“一個(gè)巨大進(jìn)步”。

他積極研發(fā)5-3nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的器件技術(shù)與關(guān)鍵工藝，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)在2023年首次實(shí)現(xiàn)了3層堆疊納米線/納米片的GAA器件溝道結(jié)構(gòu)，為下一步實(shí)現(xiàn)堆疊環(huán)柵器件打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)突破。

潛心科研之外，張衛(wèi)長(zhǎng)期堅(jiān)守在教學(xué)一線。面對(duì)學(xué)生們求知的眼神，張衛(wèi)總能將前沿的芯片技術(shù)深入淺出。即便再忙，他總會(huì)提前到教室調(diào)試設(shè)備，課后被學(xué)生圍住追問(wèn)也總是耐心解答。從教30年來(lái)，張衛(wèi)培養(yǎng)了一大批集成電路領(lǐng)域的優(yōu)秀人才，學(xué)生中有5人成為國(guó)家級(jí)高層次人才，40多人擔(dān)任我國(guó)集成電路頭部企業(yè)的高管和核心技術(shù)人員。

“教育的根本是立德樹(shù)人，要培養(yǎng)一批核心技術(shù)的開(kāi)拓者、交叉領(lǐng)域的探索者和集成電路產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍者，我們必須通過(guò)教育，激發(fā)青年人深厚的家國(guó)情懷以及報(bào)國(guó)的責(zé)任感和使命感?！泵慨?dāng)青年教師帶著項(xiàng)目申請(qǐng)書(shū)來(lái)請(qǐng)教，他總會(huì)逐頁(yè)圈注修改建議；產(chǎn)學(xué)研合作方案攤滿(mǎn)桌面，他反復(fù)推敲著技術(shù)轉(zhuǎn)化路徑；各類(lèi)需要決策的文件千頭萬(wàn)緒，他會(huì)耐心跟進(jìn)相關(guān)事項(xiàng)。

那些晨昏交替間的步履匆匆，那些在行政、教學(xué)、科研間無(wú)縫切換的身影，正勾勒出新時(shí)代先進(jìn)工作者最真實(shí)的畫(huà)像：在科技強(qiáng)國(guó)的征程上，永遠(yuǎn)保持奔跑的姿態(tài)。

作為我國(guó)微電子領(lǐng)域的開(kāi)拓者，張衛(wèi)比誰(shuí)都清楚，所謂“中國(guó)芯”的突破，從來(lái)不是某個(gè)震撼業(yè)界的瞬間，而是由無(wú)數(shù)個(gè)平凡的日子堆疊而成。面對(duì)我國(guó)集成電路先進(jìn)制造領(lǐng)域面臨的“卡脖子”難題，以及高端領(lǐng)軍人才不足等問(wèn)題，他和他的團(tuán)隊(duì)也將不懈探索創(chuàng)新，全力投身復(fù)旦新工科建設(shè)，力求攻克關(guān)鍵核心技術(shù)，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展培育出一批批優(yōu)秀人才。