在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭白熱化的當(dāng)下，關(guān)鍵材料與核心設(shè)備的自主可控已成為國家戰(zhàn)略的重要一環(huán)。作為國內(nèi)領(lǐng)先的高端12英寸集成電路離子注入機(jī)制造商，萬業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”）在SEMICON China 2025上展示了其全系列創(chuàng)新產(chǎn)品及解決方案，彰顯了國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備的硬實(shí)力。與此同時，萬業(yè)企業(yè)控股股東先導(dǎo)科技集團(tuán)，憑借其在稀散金屬領(lǐng)域的深厚積累和全產(chǎn)業(yè)鏈布局，為凱世通的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。

先導(dǎo)科技集團(tuán)董事長、萬業(yè)企業(yè)董事長兼總裁、凱世通董事長朱世會先生受邀出席大會開幕式，共話凱世通聚焦高端半導(dǎo)體裝備離子注入機(jī)的技術(shù)創(chuàng)新與萬業(yè)企業(yè)、先導(dǎo)科技集團(tuán)雙向賦能的發(fā)展戰(zhàn)略。

外延并購+產(chǎn)業(yè)整合 深度布局半導(dǎo)體設(shè)備

萬業(yè)企業(yè)通過“外延并購+產(chǎn)業(yè)整合”的戰(zhàn)略，深度布局半導(dǎo)體設(shè)備和零部件領(lǐng)域，旗下凱世通在國內(nèi)集成電路離子注入機(jī)市場地位舉足輕重。而先導(dǎo)科技集團(tuán)，作為全球稀散金屬領(lǐng)域的領(lǐng)軍者，在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域技術(shù)沉淀深厚，上下游產(chǎn)業(yè)資源豐富，構(gòu)建了從高端材料到終端裝備的全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)閉環(huán)。二者的攜手，為國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入了強(qiáng)大動力。

在半導(dǎo)體制造過程中，離子注入機(jī)堪稱 “精準(zhǔn)摻雜利器”，但因其技術(shù)復(fù)雜、驗(yàn)證周期漫長，長期被國外巨頭壟斷，國產(chǎn)化率不足5%。凱世通自成立以來，便專注于離子注入機(jī)的研發(fā)與生產(chǎn)。近年來，公司不斷攻堅(jiān)克難，加大技術(shù)創(chuàng)新，設(shè)備性能對標(biāo)國外進(jìn)口主流設(shè)備，獲得了晶圓廠客戶的廣泛認(rèn)可。這一成果的背后，是凱世通大量高強(qiáng)度的工作以及對技術(shù)研發(fā)的執(zhí)著投入。

離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)跑，彰顯國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備硬實(shí)力

在產(chǎn)品創(chuàng)新上，凱世通持續(xù)發(fā)力?；凇巴ㄓ闷脚_+關(guān)鍵技術(shù)模塊”的產(chǎn)品開發(fā)模式，公司開發(fā)出系列離子注入機(jī)，其中面向超低溫應(yīng)用的離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)了-100℃超低溫離子注入工藝應(yīng)用并量產(chǎn)，打破了海外企業(yè)的技術(shù)壟斷；面向CIS特殊工藝需求的離子注入機(jī)，更是填補(bǔ)了國內(nèi)空白，并已在客戶端完成驗(yàn)證驗(yàn)收。同時，針對各式新工藝應(yīng)用的離子注入機(jī)也在穩(wěn)步開發(fā)中。

在服務(wù)方面，凱世通同樣不遺余力?？紤]到離子注入機(jī)的復(fù)雜性，公司在主要客戶端工廠附近設(shè)立售后服務(wù)中心，還為重點(diǎn)客戶打造了驗(yàn)證測試和培訓(xùn)的潔凈室，增強(qiáng)客戶服務(wù)水平。目前，凱世通售后團(tuán)隊(duì)規(guī)模已超百人，不僅有熟悉設(shè)備的工程技術(shù)人員，還引進(jìn)了眾多擁有10年以上離子注入機(jī)管理應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)的資深專家。憑借專業(yè)的服務(wù)，凱世通贏得了客戶的高度認(rèn)可。

在技術(shù)路線方面，凱世通堅(jiān)持正向開發(fā)，基于第一性原理深入研究技術(shù)機(jī)理，從而能夠快速響應(yīng)并解決各種技術(shù)難題，滿足客戶不斷升級的需求。

在市場策略上，凱世通從服務(wù)國內(nèi)頭部12英寸企業(yè)起步，憑借完善的技術(shù)體系，迅速推出滿足客戶高端需求的產(chǎn)品，如低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)、超低溫離子注入機(jī)和面向CIS的離子注入機(jī)等系列設(shè)備，成功解決了客戶的“卡脖子”難題，贏得了客戶的信賴。這種“高舉高打”的策略，也幫助凱世通更快開發(fā)多樣化產(chǎn)品，更快突破其他細(xì)分市場。

據(jù)了解，自2020年首臺訂單突破以來，凱世通累計(jì)收獲12英寸集成電路離子注入機(jī)設(shè)備訂單近60臺，訂單總金額超14億，其中50%以上為重復(fù)訂單，完成產(chǎn)線交付超40臺并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，服務(wù)了十余家重點(diǎn)芯片制造企業(yè)。

稀缺材料+核心設(shè)備強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手

朱世會在采訪中分享了集團(tuán)的發(fā)展歷程與戰(zhàn)略規(guī)劃。先導(dǎo)科技起源于稀散金屬領(lǐng)域，經(jīng)過多年發(fā)展，已成為一家業(yè)務(wù)廣泛的國家級高新技術(shù)企業(yè)集團(tuán)。集團(tuán)旗下半導(dǎo)體事業(yè)部專注于集成電路關(guān)鍵材料和核心零部件等領(lǐng)域，致力于成為一至四代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用器件的引領(lǐng)者。

朱世會表示，離子注入機(jī)作為前道工藝的核心設(shè)備，技術(shù)難度僅次于光刻機(jī)，凱世通將從“設(shè)備+應(yīng)用”同時發(fā)力，加快關(guān)鍵技術(shù)提升，推動產(chǎn)品多樣化，同時加強(qiáng)客戶應(yīng)用研究，與客戶合作開發(fā)，推動離子注入機(jī)技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用，同客戶一起成長。先導(dǎo)科技集團(tuán)將基于在材料科技、關(guān)鍵零部件等領(lǐng)域的能力優(yōu)勢，積極賦能凱世通，助力國產(chǎn)離子注入機(jī)做大做強(qiáng)。

在談到雙方的協(xié)同效應(yīng)時，朱世會指出，先導(dǎo)科技與萬業(yè)企業(yè)在產(chǎn)業(yè)和業(yè)務(wù)等方面協(xié)同互補(bǔ)。在產(chǎn)業(yè)上，先導(dǎo)科技的稀散金屬資源及電子材料、器件資源，可應(yīng)用于集成電路裝備領(lǐng)域，推動萬業(yè)企業(yè)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型；在業(yè)務(wù)上，雙方在半導(dǎo)體業(yè)務(wù)版圖中互為上下游，產(chǎn)品和客戶領(lǐng)域重疊，合作能夠?qū)崿F(xiàn)資源共享，提升市場競爭力。

未來空間巨大 助力萬業(yè)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型

對于未來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，朱世會充滿信心。他認(rèn)為，中國集成電路產(chǎn)業(yè)雖然目前面臨諸多挑戰(zhàn)，但未來發(fā)展空間巨大。在高端支撐領(lǐng)域和成熟制程領(lǐng)域，中國都有很大的發(fā)展?jié)摿?，有望?shí)現(xiàn)快速突破。先導(dǎo)科技集團(tuán)將繼續(xù)專注于集成電路領(lǐng)域，通過提升技術(shù)、完善供應(yīng)鏈、加強(qiáng)與客戶合作等方式，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中，新材料的重要性不言而喻。盡管新材料的應(yīng)用在某些領(lǐng)域可能還需時日，但在設(shè)備零部件國產(chǎn)化進(jìn)程中，材料的制約作用十分明顯。以靜電吸盤為例，其關(guān)鍵材料長期被國外企業(yè)壟斷，嚴(yán)重限制了國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。而先導(dǎo)科技憑借自身的技術(shù)積累，有望在這些關(guān)鍵材料領(lǐng)域取得突破，為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展提供支撐。

朱世會談到了萬業(yè)企業(yè)的鉍業(yè)務(wù)。鉍金屬作為先導(dǎo)科技的重要產(chǎn)品，在萬業(yè)企業(yè)的轉(zhuǎn)型中扮演著關(guān)鍵角色。朱世會認(rèn)為，萬業(yè)企業(yè)將通過鉍金屬的深加工業(yè)務(wù)，助力公司實(shí)現(xiàn)從房地產(chǎn)向高科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)的轉(zhuǎn)型。

萬業(yè)企業(yè)與先導(dǎo)科技集團(tuán)的合作，為國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶來了新的希望。在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭的浪潮中，它們憑借技術(shù)創(chuàng)新、協(xié)同發(fā)展的優(yōu)勢，正穩(wěn)步邁向自主可控的發(fā)展道路，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起貢獻(xiàn)著重要力量，值得行業(yè)內(nèi)外持續(xù)關(guān)注。