據(jù)上海嘉定消息，3月25日，盛劍科技國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件項目（一期）正式投產(chǎn)。

（來源：上海嘉定）

據(jù)介紹，此前，為進一步深化在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的布局，盛劍科技與嘉定工業(yè)區(qū)管理委員會簽訂投資協(xié)議。該項目用地約27728.6平方米，計劃總投資約6億元，致力于打造一個集研發(fā)、制造、銷售和維保服務(wù)為一體的國產(chǎn)先進半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件平臺。

該項目主要生產(chǎn)工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備以及溫控設(shè)備等。這些設(shè)備在半導(dǎo)體制程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用，能夠輔助控制半導(dǎo)體制程設(shè)備的反應(yīng)腔，使其滿足刻蝕、離子注入、擴散及薄膜沉積等工藝的環(huán)境要求。

據(jù)上海盛劍科技股份有限公司副總經(jīng)理聶磊介紹，盛劍科技國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件項目是公司導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的延伸布局，有助于提升國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的生產(chǎn)能力、運維能力和產(chǎn)業(yè)競爭力。目前，盛劍科技在真空、溫控，包括新型廢氣處理的關(guān)鍵技術(shù)方面實現(xiàn)多項突破，未來將有更多迭代產(chǎn)品在新工廠下線投產(chǎn)。