天眼查顯示，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司近日取得一項(xiàng)名為“自動(dòng)曝光連線的集成粘塵裝置”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN222447558U，授權(quán)公告日為2025年2月11日，申請(qǐng)日為2024年5月7日。

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種自動(dòng)曝光連線的集成粘塵裝置，包括：移載機(jī)、安裝座和粘塵機(jī)，移載機(jī)的一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)口，安裝座設(shè)于移載機(jī)的一側(cè)，粘塵機(jī)連接于安裝座上，粘塵機(jī)的相對(duì)兩側(cè)設(shè)有第二進(jìn)口和第二出口，第二出口與第一進(jìn)口相對(duì)設(shè)置，且第二出口和第一進(jìn)口處于同一水平面上。這樣，通過(guò)在移載機(jī)上設(shè)有安裝座，以讓安裝座能夠與粘塵機(jī)進(jìn)行連接，以讓粘塵機(jī)上的第二出口能夠與移載機(jī)上的第一進(jìn)口處于同一水平面內(nèi)，以讓粘塵機(jī)在對(duì)基板進(jìn)行除塵后能夠直接將基板輸入到移載機(jī)內(nèi)以進(jìn)行曝光生產(chǎn)，以讓進(jìn)入移載機(jī)內(nèi)進(jìn)行后續(xù)工序的基板具有更高的潔凈度，從而提升自動(dòng)曝光連線的集成粘塵裝置的生產(chǎn)良品率，還能便于粘塵機(jī)與移載機(jī)之間的定位組裝。