天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“上電極裝置及半導體工藝設備”專利公布，申請公布日為2024年12月31日，申請公布號為CN119230366A。
本發(fā)明公開了一種上電極裝置及半導體工藝設備，上電極裝置包括：進氣結構，貫穿腔室蓋板設置，并與腔室蓋板活動密封連接，用于向工藝腔內通入工藝氣體；第一調節(jié)機構，包括至少一個第一位移導向組件，第一位移導向組件與進氣結構的位于腔室本體外的一端連接，用于在進氣結構沿第一水平方向移動時對進氣結構進行導向；第二調節(jié)機構，包括至少一個第二位移導向組件，第二位移導向組件與進氣結構的位于腔室本體外的一端連接，用于在進氣結構沿第二水平方向移動時對進氣結構進行導向，其中，第一水平方向與第二水平方向相交。本發(fā)明可提高上電極進氣結構與晶圓之間同軸度調節(jié)的可控性和便利性。
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