天眼查顯示,江蘇捷捷微電子股份有限公司“一種縱向變摻雜的IGBT結構及制備方法”專利公布,申請公布日為2024年11月15日,申請公布號為CN118969828A。
本發(fā)明涉及半導體技術領域,尤其涉及一種混合柵IGBT結構及制備方法?;旌蠔臝GBT結構包括第一導電類型的半導體襯底,半導體襯底的正面生長有第一導電類型的外延層,外延層的正面有元胞結構,半導體襯底的背面有集電極結構。其特點是,所述元胞結構含有依次設置有溝槽柵和平面柵,溝槽柵和平面柵間有發(fā)射極結構。該混合柵IGBT結構短路能力強,EMI噪聲低,折中特性更優(yōu)。