2024年9月6日，零部件本土化新質(zhì)生產(chǎn)力研討會(huì)暨協(xié)同創(chuàng)新戰(zhàn)略合作簽約儀式在上海浦東成功舉辦。萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱凱世通）攜手國(guó)內(nèi)頂尖的集成電路制造企業(yè)、中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院等離子體物理研究所，元禾璞華投資管理有限公司，以及眾多國(guó)內(nèi)集成電路零部件企業(yè)共同參與了此次盛會(huì)。通過(guò)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，各方將聯(lián)合推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)學(xué)研合作，促進(jìn)上游零部件企業(yè)一體化發(fā)展，進(jìn)而幫助下游用戶解決本土芯片制造的連續(xù)性挑戰(zhàn)。

芯片制造國(guó)產(chǎn)化，裝備先行；裝備國(guó)產(chǎn)化，零部件是基礎(chǔ)。集成電路產(chǎn)業(yè)作為國(guó)家綜合實(shí)力的關(guān)鍵標(biāo)志之一是新質(zhì)生產(chǎn)力，上下游協(xié)同創(chuàng)新是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈整體突破的必由之路。

離子注入機(jī)是集成電路前道設(shè)備中系統(tǒng)復(fù)雜度最高的核心設(shè)備之一，包含數(shù)以萬(wàn)計(jì)的零部件。離子注入機(jī)也是2014年國(guó)務(wù)院印發(fā)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確提出重點(diǎn)發(fā)展的三大關(guān)鍵裝備之一，研發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，放眼全球，提供該類產(chǎn)品的供應(yīng)商數(shù)量并不多。

凱世通于2009年在上海浦東成立，致力于離子注入機(jī)技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。凱世通堅(jiān)持以科技自立自強(qiáng)與市場(chǎng)需求為牽引，成功開(kāi)發(fā)出市場(chǎng)需求最大、技術(shù)難度最高的12英寸低能大束流離子注入機(jī)與高能離子注入機(jī)系列產(chǎn)品，率先實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)28納米產(chǎn)線應(yīng)用“0到1”的突破，并收獲了多家重點(diǎn)客戶批量重復(fù)訂單。在此基礎(chǔ)上，凱世通堅(jiān)持產(chǎn)線應(yīng)用的目標(biāo)導(dǎo)向，不斷推進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品優(yōu)化升級(jí)和新品開(kāi)發(fā)力度,正在加速構(gòu)建全系列離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化產(chǎn)品矩陣。

凱世通在這一領(lǐng)域積極發(fā)揮“鏈主”功能，與上游眾多零部件供應(yīng)商建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系，并且聯(lián)合下游應(yīng)用企業(yè)開(kāi)展新技術(shù)和新產(chǎn)品研發(fā)，從而打造了一個(gè)具有韌性、多元化特征的供應(yīng)鏈體系。

作為整機(jī)企業(yè)，凱世通在產(chǎn)業(yè)合作中，積極發(fā)揮承上啟下的樞紐作用，帶動(dòng)上下游產(chǎn)業(yè)鏈一體化發(fā)展。凱世通團(tuán)隊(duì)致力于不斷拓展技術(shù)上限，不斷提升產(chǎn)業(yè)化能力，高度重視半導(dǎo)體設(shè)備零部件的國(guó)產(chǎn)化工作，實(shí)現(xiàn)上下游產(chǎn)業(yè)鏈的共贏，成為國(guó)際先進(jìn)的離子注入設(shè)備供應(yīng)商。在大力構(gòu)建離子注入機(jī)領(lǐng)域競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的同時(shí)，萬(wàn)業(yè)也在積極拓寬在整個(gè)產(chǎn)業(yè)的平臺(tái)化布局，打造一個(gè)身強(qiáng)體壯的半導(dǎo)體裝備平臺(tái)。

萬(wàn)業(yè)企業(yè)總裁兼旗下凱世通董事長(zhǎng)李勇軍博士表示，凱世通提早布局，目前已基本實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)供應(yīng)鏈自主可控。此次戰(zhàn)略合作的簽約項(xiàng)目，包括微波等離子體噴槍、靜電吸盤材料、真空自動(dòng)化機(jī)器人、超高能射頻加速器、射頻電源、高精度氣體流量計(jì)等多款關(guān)鍵零部件，致力于填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，為客戶提供性能更優(yōu)、成本更低、自主可控的產(chǎn)品與服務(wù)解決方案。

在上下游產(chǎn)業(yè)鏈的緊密協(xié)作下，凱世通多個(gè)關(guān)鍵零部件項(xiàng)目已開(kāi)花結(jié)果。其中，微波等離子體噴槍主要用于離子注入靜電中和，相對(duì)于傳統(tǒng)的燈絲型等離子體噴槍，可有效降低金屬污染，從而提升芯片制造的良品率。這一零部件是滿足AI、HBM、傳感器為代表的新質(zhì)生產(chǎn)力芯片嚴(yán)苛制造要求的關(guān)鍵。經(jīng)過(guò)系列科技攻關(guān)與研發(fā)創(chuàng)新，凱世通已實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，產(chǎn)品測(cè)試性能表現(xiàn)優(yōu)異，維護(hù)成本低，并已交付給客戶進(jìn)行產(chǎn)線驗(yàn)證。

凱世通致力于集成電路離子注入設(shè)備的自主研發(fā)創(chuàng)新，形成了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)，創(chuàng)建了包括基礎(chǔ)技術(shù)和應(yīng)用技術(shù)在內(nèi)的“通用平臺(tái)+關(guān)鍵技術(shù)模塊化+系列化產(chǎn)業(yè)化發(fā)展”的完整技術(shù)體系，解決了高端芯片實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中面臨的極低能量大劑量注入、高角度均勻性、顆粒污染控制、低能量注入能量污染、設(shè)備高產(chǎn)能等技術(shù)挑戰(zhàn)。

凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉介紹，離子注入機(jī)零部件種類繁多、技術(shù)要求極高。凱世通扎實(shí)推進(jìn)離子注入機(jī)國(guó)產(chǎn)化工作，發(fā)揮鏈主作用，積極拓寬零部件本土化路徑?；谡蛟O(shè)計(jì)與協(xié)同創(chuàng)新的理念，凱世通聯(lián)合下游應(yīng)用單位與上游零部件廠商緊密合作，共同開(kāi)發(fā)關(guān)鍵零部件，有序推進(jìn)國(guó)產(chǎn)零部件的驗(yàn)證工作，從而逐步提升對(duì)離子注入機(jī)零部件核心技術(shù)的掌控性、創(chuàng)新性、領(lǐng)先性。

元禾璞華董事總經(jīng)理陳瑜表示，凱世通以鏈主為橋梁將眾多關(guān)鍵部件企業(yè)聚合在一起，不僅有助于提高設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率，還可以加速半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)安全性、增厚半導(dǎo)體新質(zhì)生產(chǎn)力，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)同升級(jí)、自主可控提供了一個(gè)新的范式。

截至目前，凱世通的主要產(chǎn)品12英寸離子注入機(jī)在客戶銷售上持續(xù)突破，自2020年起累計(jì)訂單近60臺(tái)，低能大束流離子注入機(jī)客戶已突破10家以上，超低溫離子注入機(jī)客戶突破7家，高能離子注入機(jī)客戶也突破2家。值得一提的是，2024年至今，凱世通已有3家國(guó)內(nèi)主流客戶給予批量重復(fù)訂單，并新增2家12英寸晶圓廠客戶訂單。

面向未來(lái)，凱世通將繼續(xù)堅(jiān)持創(chuàng)新突破，不斷支撐集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈穩(wěn)健運(yùn)營(yíng)，為新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展提供不竭“芯”動(dòng)力，不斷帶動(dòng)更多國(guó)產(chǎn)零部件產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)中國(guó)制造邁向高端。