9月4日，以“做強中國芯，擁抱芯世界”為主題的第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展（CSEAC 2025）在無錫開幕。展會聚焦半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備、核心部件、關(guān)鍵材料等領(lǐng)域最新成果，吸引全球22個國家和地區(qū)的專家學(xué)者、企業(yè)領(lǐng)袖參與。集成電路制造良率管理領(lǐng)軍企業(yè)東方晶源全程參與，通過兩場高規(guī)格論壇演講與特色展臺，全方位展示最新技術(shù)成果，與行業(yè)同仁共話發(fā)展。

董事長論壇

俞宗強博士提出AI驅(qū)動“換道超車”方法論

作為展會品牌論壇，董事長論壇率先開啟“巔峰對話”。東方晶源董事長俞宗強博士發(fā)表題為“Computational Metrology/Inspection for Better COO”的演講，系統(tǒng)介紹公司電子束量檢測設(shè)備生態(tài)建設(shè)成果，并提出AI計算引領(lǐng)的設(shè)備發(fā)展新路徑。

俞宗強博士指出，通過AI算法深度挖掘海量歷史與實時檢測數(shù)據(jù)，可精準識別影響芯片性能的關(guān)鍵缺陷與參數(shù)偏差，實現(xiàn)“量得少卻同樣解決問題”的高效模式，為半導(dǎo)體量檢測設(shè)備從追趕到“換道超車”提供可能。在圓桌對話環(huán)節(jié)，他還與半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)高管圍繞市場拓展、技術(shù)創(chuàng)新、供應(yīng)鏈合作等議題深入探討，凝聚產(chǎn)業(yè)發(fā)展共識。

主論壇

雒曉軍博士解析技術(shù)趨勢

披露電子束量檢測設(shè)備國產(chǎn)化進展

在主論壇環(huán)節(jié)，東方晶源高級副總裁雒曉軍博士圍繞半導(dǎo)體量檢測設(shè)備的重要性、電子束量檢測技術(shù)發(fā)展趨勢、國產(chǎn)化發(fā)展現(xiàn)狀以及國產(chǎn)化過程中的挑戰(zhàn)四大核心方面展開分享。作為擁有20年半導(dǎo)體量測檢測經(jīng)驗的資深人士，雒曉軍博士的演講極具洞見，他認為電子束量檢測機臺未來將會向冷場發(fā)射、高電壓 （>45KeV）、多電子束發(fā)展。隨后他又從物理、技術(shù)、應(yīng)用方面進行了分析，給出了判斷理由和依據(jù)。

在國產(chǎn)化進展上，雒曉軍博士還披露了諸多關(guān)鍵信息：在6/8英寸硅制程及第三代半導(dǎo)體，關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM）已經(jīng)實現(xiàn)完全國產(chǎn)化。12英寸方面，東方晶源最新機臺SEpA?-c505則搭載全新高速傳片平臺，可滿足更高產(chǎn)能需求。設(shè)備集成全新自研的電子光學(xué)系統(tǒng)（EOS），成像分辨率和量測重復(fù)精度實現(xiàn)雙重突破，技術(shù)參數(shù)比肩國際主流產(chǎn)品，目前正在客戶端進行驗證。有望在今年底或明年初實現(xiàn)在28納米制程的完全國產(chǎn)替代。電子束缺陷檢測設(shè)備（EBI）方面，東方晶源最新產(chǎn)品SEpA?-i635取得了非常大的進展，大電流預(yù)充電功能的開發(fā)解決了3D結(jié)構(gòu)漏電和斷路缺陷檢測問題，抗干擾性能的優(yōu)化大大提高了小尺寸物理缺陷的檢出率, 在28納米成熟制程及3D NAND實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備（DR-SEM）方面，東方晶源最新產(chǎn)品SEpA?-r655，實現(xiàn)1.4納米分辨率，5通道探測器同時成像，可對標Fab主流機臺。

展臺人氣爆棚

三天吸引多領(lǐng)域關(guān)注，趣味互動傳遞品牌理念

本屆CSEAC展為期3天，東方晶源展臺持續(xù)保持極高的人氣，不僅吸引半導(dǎo)體企業(yè)、高校、投資機構(gòu)等專業(yè)群體駐足交流，還引發(fā)自媒體博主現(xiàn)場直播關(guān)注。工作人員圍繞新產(chǎn)品、新技術(shù)進行細致講解，與來訪嘉賓探討潛在合作機遇。

此外，展臺定時開展的“刮刮樂”互動活動廣受好評。定制化刮刮樂卡片融入東方晶源HPO理念及產(chǎn)品信息，讓觀眾在趣味體驗中輕松了解企業(yè)技術(shù)優(yōu)勢，使展臺成為兼具產(chǎn)品展示與行業(yè)交流功能的核心平臺，收獲超高行業(yè)關(guān)注度。

總結(jié)

半導(dǎo)體設(shè)備對整個半導(dǎo)體行業(yè)起著重要支撐作用，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上市場空間最廣闊、戰(zhàn)略價值最重要的一環(huán)，也是東方晶源長期以來進行重點攻關(guān)的方向之一。正如俞宗強博士在論壇中所言：提升電子束設(shè)備的檢測效率，致力于為客戶提升良率、降低成本，東方晶源為此在軟硬件聯(lián)動、定制化GPU+CPU的超算平臺以及基于對光刻等核心工藝步驟的深刻理解和精準仿真等方面準備了十二年，未來還將繼續(xù)深耕，不遺余力推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展和進步。