芯密科技“一種用于靜電吸盤縫隙的密封膠及其制備方法與應(yīng)用”專利獲授權(quán)

作者：愛集微 05-31 21:44

來源：愛集微 #芯密科技#

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天眼查顯示，上海芯密科技股份有限公司近日取得一項名為“一種用于靜電吸盤縫隙的密封膠及其制備方法與應(yīng)用”的專利，授權(quán)公告號為CN117777941B，授權(quán)公告日為2025年3月14日，申請日為2023年11月22日。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于靜電吸盤縫隙的密封膠及其制備方法與應(yīng)用。所述密封膠的主要原料為有機硅，還可以包括改性的納米二氧化硅、其他填料。本發(fā)明操作工藝方便，適用范圍廣，只要厚度小于2mm的任意形狀的縫隙均適用。同時該密封膠的抗腐蝕性更加優(yōu)異，降低了靜電吸盤的維護成本，同時延長其使用壽命。