天眼查顯示，深圳中科飛測科技股份有限公司“一種承載裝置”專利公布，申請公布日為2025年3月7日，申請公布號為 CN119581386A。
本發(fā)明公開了一種承載裝置。將用于吸附工件的承載盤設(shè)置成中心區(qū)和邊緣區(qū)，并通過在承載盤的周側(cè)設(shè)置外部輔助氣路，并使外部輔助氣路中的一組氣路連通至中心區(qū)，以及一組氣路連通至邊緣區(qū)。通過上述公開的承載裝置，工作人員可根據(jù)工件的尺寸和類型，通過控制不同氣路為承載盤提供不同吸附力，以滿實(shí)現(xiàn)對不同尺寸和類型的工件固定。
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