天眼查顯示，深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司近日取得一項(xiàng)名為“檢測(cè)設(shè)備和檢測(cè)方法”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN114234835B，授權(quán)公告日為2025年3月14日，申請(qǐng)日為2020年9月9日。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種檢測(cè)設(shè)備和檢測(cè)方法，用于進(jìn)行掃描檢測(cè)，所述檢測(cè)設(shè)備包括：照明光源，用于提供照明光；物鏡，用于使所述照明光投射至檢測(cè)面，還用于對(duì)檢測(cè)面成像，所述物鏡的光軸在所述檢測(cè)面的投影為檢測(cè)點(diǎn)；聚焦裝置，用于在所述檢測(cè)面上確定測(cè)量點(diǎn)，所述測(cè)量點(diǎn)相對(duì)于所述檢測(cè)點(diǎn)沿掃描方向具有一偏移量；還用于根據(jù)測(cè)量點(diǎn)對(duì)應(yīng)的檢測(cè)面位置，調(diào)整物鏡進(jìn)行聚焦；探測(cè)裝置，用于探測(cè)物鏡收集的所述照明光。本發(fā)明實(shí)施例能優(yōu)化聚焦性能，提高成像質(zhì)量。