近日，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（以下簡(jiǎn)稱“北理微電院”）算法工程師趙瑞凡、研究生潘騰分別以第一作者在光學(xué)領(lǐng)域國(guó)際知名期刊《Optics Express》(JCR Q2, IF=3.2)發(fā)表論文，北理微電院謝會(huì)開(kāi)教授和陳倩博士為論文的通訊作者。

論文一：Asynchronous equal optical path difference sampling method for MEMS-based Fourier transform spectrometers

該研究針對(duì)雙光路MEMS近紅外光譜儀在進(jìn)行同步激光標(biāo)定時(shí)產(chǎn)生的光電耦合問(wèn)題，提出了一種干涉信號(hào)異步采集的方法。該方法基于電熱MEMS微鏡在連續(xù)的一段時(shí)間內(nèi)掃描狀態(tài)變化不影響光譜的假設(shè)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)明確了在保證光譜重復(fù)度達(dá)標(biāo)前提下的激光采集間隔時(shí)間，從源頭避免了雙光路MEMS近紅外光譜儀光電耦合對(duì)光譜分析的影響，提高了光譜數(shù)據(jù)模型的預(yù)測(cè)準(zhǔn)確度，同時(shí)也能達(dá)到降低功耗、降低硬件設(shè)計(jì)復(fù)雜度的效果。

論文二：Two-axis asymmetric electrothermal MEMS micromirror for decoupled resonant scanning

該研究設(shè)計(jì)并加工了一種新型非對(duì)稱解耦微鏡，通過(guò)構(gòu)建微鏡動(dòng)力學(xué)模型，分析產(chǎn)生耦合的原因，提出頻率分離解耦機(jī)制，仿真結(jié)果表明不同驅(qū)動(dòng)臂長(zhǎng)度可以有效分離微鏡傾斜運(yùn)動(dòng)的諧振頻率。對(duì)制造的電熱微鏡進(jìn)行測(cè)試，在2 Vpp電壓驅(qū)動(dòng)下，成功投射出規(guī)則的光柵和李薩如掃描圖案，幀率可達(dá)30 fps，光學(xué)視場(chǎng)21°×22°。測(cè)試結(jié)果表明解耦微鏡實(shí)現(xiàn)了雙軸諧振無(wú)耦合掃描，解決了電熱MEMS微鏡在諧振驅(qū)動(dòng)時(shí)的交軸耦合問(wèn)題，在光學(xué)內(nèi)窺、激光雷達(dá)等需要高速高精度掃描成像領(lǐng)域具有重要應(yīng)用潛力，同時(shí)為下一代MEMS微鏡的優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了關(guān)鍵理論支撐。

北京理工大學(xué)重慶微電子研究院(以下簡(jiǎn)稱“北理微電院”)位于西部(重慶)科學(xué)城西永微電子產(chǎn)業(yè)園核心區(qū)域，是由西永綜合保稅區(qū)和北京理工大學(xué)共同舉辦的新型高端研發(fā)機(jī)構(gòu)，致力于構(gòu)建中國(guó)數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)感知基座，重點(diǎn)發(fā)展先進(jìn)傳感、超寬帶通信和醫(yī)工融合三大方向。截至目前，北理微電院擁有9000多平方米的辦公與實(shí)驗(yàn)場(chǎng)地，并投入超1.5億元建成了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的6英寸MEMS微納工藝研發(fā)線，超凈面積達(dá)1100多平方米。