天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“一種用于最終拋光的拋光頭、拋光設(shè)備和成品晶圓”專利公布，申請公布日為2025年2月28日，申請公布號為CN119526270A。
本公開實施例提供了一種用于最終拋光的拋光頭、拋光設(shè)備和成品晶圓，所述拋光頭包括：吸附環(huán)，所述吸附環(huán)用于吸附在待拋光的晶圓的環(huán)形倒角區(qū)域上；以及多個連接元件，每個連接元件均是可動的，并且所述多個連接元件與所述吸附環(huán)連接以保持被所述吸附環(huán)吸附的所述晶圓，其中，所述多個連接元件構(gòu)造成能夠通過各自的移動改變所述晶圓的翹曲度或位置，以使所述晶圓的正面在被拋光后滿足目標形貌要求。
