天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“一種拋光墊的表面監(jiān)測(cè)裝置及方法”專利公布，申請(qǐng)公布日為2025年2月28日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119526256A。
本公開實(shí)施例公開了一種拋光墊的表面監(jiān)測(cè)裝置及方法，拋光墊的表面監(jiān)測(cè)裝置可以包括圖像采集機(jī)構(gòu)和控制器，圖像采集機(jī)構(gòu)通過(guò)支撐組件固定于拋光頭上，用于在CMP過(guò)程中實(shí)時(shí)采集拋光墊的表面圖像。表面圖像被傳送至控制器，控制器利用圖像識(shí)別技術(shù)對(duì)采集到的圖像進(jìn)行分析，以確定拋光墊的表面狀態(tài)。
