天眼查顯示，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司 “偏振器件透光軸標(biāo)定裝置及偏振器件透光軸標(biāo)定方法”專利公布，申請公布日為2025年2月14日，申請公布號為CN119437647A。

本發(fā)明提供一種偏振器件透光軸標(biāo)定裝置及方法，借助線柵偏振片以及利用旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動偏振器件旋轉(zhuǎn)來對偏振器件透光軸進(jìn)行標(biāo)定，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動偏轉(zhuǎn)器件旋轉(zhuǎn)過程中，若測得的光功率最小，則表示線柵偏振片的刻畫方向與偏振器件的透光軸的方向平行，基于此，在標(biāo)定過程中，測量線柵偏振片的線柵刻畫方向與所述機(jī)械基準(zhǔn)之間的夾角Φ，測量所述偏振器件的透光軸標(biāo)記與所述機(jī)械基準(zhǔn)之間的夾角α，以及記錄光功率值最小時旋轉(zhuǎn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)角度θ，而后利用Φ、α及θ即可計算得到偏振器件的透光軸相對透光軸標(biāo)記的角度，由此可以完成對于偏振器件透光軸的標(biāo)定，且操作過程簡單。