天眼查顯示，上海微電子裝備（集團）股份有限公司近日取得一項名為“密封門裝置及光刻設(shè)備”的專利，授權(quán)公告號為CN112750694B，授權(quán)公告日為2024年5月17日，申請日為2019年10月31日。

本發(fā)明公開了一種密封門裝置及光刻設(shè)備，該密封門裝置包括密封板和密封門，密封板上開設(shè)有物料傳輸口，密封門具有遮擋物料傳輸口的關(guān)閉狀態(tài)和離開物料傳輸口的開啟狀態(tài)，該密封門裝置還包括：氣缸滑臺、導(dǎo)軌和平行度誤差消除組件，氣缸滑臺和導(dǎo)軌設(shè)置在物料傳輸口兩側(cè)，密封門一端與氣缸滑臺連接，另一端與導(dǎo)軌的滑塊連接，平行度誤差消除組件設(shè)置在密封門與氣缸滑臺和/或密封門與滑塊之間。上述的密封門裝置能夠有效提高激光退火效率，有助于提高光刻設(shè)備產(chǎn)率。相應(yīng)地，本發(fā)明還提一種光刻設(shè)備。