天眼查顯示，上海微電子裝備（集團）股份有限公司近日取得一項名為“減振裝置及半導(dǎo)體設(shè)備”的專利，授權(quán)公告號為CN222122116U，授權(quán)公告日為2024年12月6日，申請日為2023年12月29日。

本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種減振裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，所述減振裝置包括：至少三個空氣彈簧組件和執(zhí)行器組件；所述空氣彈簧組件包括垂向空氣彈簧和水平空氣彈簧，所述垂向空氣彈簧用于提供垂向支撐和減振，所述水平空氣彈簧用于提供水平支撐和減振；所述執(zhí)行器組件包括垂向直線電機和水平向直線電機，所述垂向直線電機用于提供垂向減振，所述水平向直線電機用于提供水平減振。通過上述被動減振以及主動減振的結(jié)合，解決了半導(dǎo)體設(shè)備振動敏感部件動態(tài)變化大、受振動干擾變性強的問題，同時解決了半導(dǎo)體設(shè)備上減振元件只能對某一特定的窄頻段振動起到阻尼減振作用，且無法有效抑制低頻振動的問題。