鳳凰網(wǎng)科技訊 北京時(shí)間2月25日，據(jù)路透社報(bào)道，英特爾公司周一表示，來自阿斯麥的前兩臺(tái)尖端光刻機(jī)已經(jīng)在其工廠“投入生產(chǎn)”。初步數(shù)據(jù)顯示，它們比之前的型號(hào)更可靠。

這兩臺(tái)光刻機(jī)是阿斯麥的高數(shù)值孔徑(High NA)極紫外光刻機(jī)，是目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)，能夠比之前的阿斯麥光刻機(jī)生產(chǎn)出更小、更快的計(jì)算芯片。去年，英特爾成為了全球首家接收這些光刻機(jī)的芯片制造商。

英特爾高級(jí)首席工程師史蒂夫·卡爾森(Steve Carson)在加州圣何塞舉行的一場會(huì)議上表示，英特爾已利用阿斯麥的高數(shù)值孔徑光刻機(jī)在一個(gè)季度內(nèi)生產(chǎn)了3萬片晶圓，這些晶圓可以產(chǎn)出數(shù)千顆計(jì)算芯片。

卡爾森指出，在初步測(cè)試中，阿斯麥新光刻機(jī)的可靠性是此前型號(hào)的大約兩倍?！拔覀冋猿掷m(xù)穩(wěn)定的速度生產(chǎn)晶圓，這對(duì)制造平臺(tái)來說是一個(gè)巨大福音?！彼f。(作者/簫雨)